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平行度是評估物體是否保持平行狀態的重要指標，對于機械加工和裝配過程中的許多環節都具有重要意義。所以平行度的測量方法及檢測工具在工業制造領域中起著至關重要的作用。三坐標測量機作為一種高精度的測量設備，也可以用于平行度的測量。

三坐標測量機測量平行度操作步驟：

1. 將被測工件放置在三坐標測量機的測量臺上，并確定工件的位置和方向。

2. 通過計算機程序控制三坐標測量機的探針移動，使其與被測工件的表面接觸，并記錄下接觸點的位置坐標。

3. 根據需要測量平行度的兩個面或線，可以分別對它們進行測量。例如，如果要測量一個平面與另一個平面的平行度，可以將探針分別移動到兩個平面的位置，并記錄下每個位置的坐標。

4. 通過計算機程序計算出每個接觸點之間的距離和角度，以及它們之間的變化量。這些數據可以用來評估平行度誤差的大小。

除了三坐標測量機，還有其他一些檢測工具可以用于平行度的測量，如激光測量儀。

激光測量儀是一類非接觸式的測量工具，通過將激光束照射到被測工件表面上，并使用傳感器接收反射回來的激光束，可以測量出工件的形狀和尺寸，從而可以評估平行度誤差的大小。例如用SJ6000激光干涉儀來測量雙直線導軌安裝的平行度：

這些精密測量工具也能提供詳細和準確的平行度測量結果。

平行度的測量方法及檢測工具有很多種，每種方法和工具都有其適用的場景和特點。在實際應用中，可以根據不同情況選擇合適的測量方法和檢測工具來進行平行度的測量。但不論是使用三坐標測量機還是激光干涉儀等精密測量工具，都需要注意操作的準確性和測量的精度，以確保測量結果的可靠性和準確性。