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熱式氣體質量流量計基于熱擴散原理，采用恒溫差法設計而成，是一款氣體計量的儀表。其擁有高精度、寬量程比、壓損小、無需溫壓補償可直接計量氣體標況體積流量等眾多其他流量計所不具有的特點，已被廣泛使用于各行各業。

熱式氣體質量流量計在選型及安裝時需要注意以下幾點： 

熱式氣體質量流量計恒溫差計量中心點就是保證兩探頭之間溫度恒定，介質的攜熱量（流速）與發熱所需的供電電流成正比關系，那么介質溫度與介質比熱為重點參數，流量計轉換器中儲存有六十余種常規氣體比熱轉換系數，該系數的設定是基體單一潔凈氣體。但是在現場實際測量中，介質純度并沒那么高，雖然流量計設計精度沒有下滑，但是測量值與實際值有可能存在一定量偏差，這也是為什么熱式氣體質量流量計適合測量干燥的氣體；介質溫度又是熱式氣體質量流量計一大難點，工作時，需要將發熱探頭加熱到比介質溫度高50度狀態。如果在計量時介質本身的溫度變化頻率過高，即加熱所需的供電電流忽大忽小，致使表頭顯示流量波動大，其測量精度會直線下滑，不利于檢測，若介質本身溫度較高時，則探頭所需加熱溫度更高，流量計設計功率小于18W，當加熱溫度過高時，發熱所需供電電流過大（供電電流不夠）則會產生多種異常情況亂，如表頭流量從小到大往復循環性變化，因此熱式氣體質量流量計多用于測量介質溫度變化頻率不高且溫度不超過400度的氣體。