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UL1000Fab干式氦質譜檢漏儀 的詳細介紹

來源:深圳市科銳詩汀科技有限公司   2024年03月04日 15:30  

UL1000Fab干式氦質譜檢漏儀  的詳細介紹

NFICON UL1000 Fab干式氦質譜檢漏儀特別設計用于滿足半導體應用要求。憑借環境系統優先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性,UL1000 Fab干式氦質譜檢漏儀在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應。

通過結合較高氦氣吸氣能力和高進氣口壓力的*真空結構,UL1000 Fab干式氦質譜檢漏儀提供的*的泄漏率低達 < 5x10-12 atm cc/s。軟件 I-CAL(智能泄漏率計算法)讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時較長反應時間的煩惱,因為 UL1000 Fab 能夠對所有泄漏率范圍做出快速響應。

使用額外的 TC1000 測試盒配件,UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡單、快速、精確的測試,如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管(根據 MIL-STD 843,方法 1014)。

功能

  • 15 級的寬測量范圍

  • 較短的抽氣和響應時間

  • 移動式全金屬外殼,增加了便利性,具有可操作性

  • I-CAL 確保了在所有測量范圍中提供zui快的泄漏響應時間

  • 抑零功能和自動積分時間校正,可提供快速、可靠的測試結果

  • 含堅固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設計,提供較高氦氣吸氣能力和高壓縮比

  • 旋轉式顯示器和用戶界面允許簡單、輕松控制裝置以及與其進行交互

  • 自保護功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染

  • 自動吹掃循環可確保清理并隨時可進行測試

  • 通過電子郵件進行軟件更新

  • 含兩個燈絲離子源(3 年質保)的耐用質譜系統確保了較長的運行時間和較低的維護成本

  • 內部校準用的內置測試漏孔確保了精確的測試結果

典型應用

  • 對半導體加工工具執行維護作業,無論是否具有自有泵支持

  • 需要較高吸氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應用

  • 在現有工具中安裝前對部件執行檢漏

  • 工藝氣體系統的檢查和安裝

  • 內置軟件菜單自動測漏"功能可使用 TC1000 測試盒執行密封組件的自動測試


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