用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高；它不會對人員、環境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價格低。

質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。

2、氦的質量小（相對分子質量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發現，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側的是氫（質荷比為2）和雙電荷原子碳（質荷比為6），質荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大，容易分開，定標找氦峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續進行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫，使氫本底且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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真空箱式氦檢漏系統

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概述

本設備適用對充氣環網柜（以下簡稱工件）進行真空法檢漏。同步對工件和真空箱抽真空，使工件內外壓差不大于0.04Mpa，對被檢工件充注氦氣，應用真空箱法進行氦質譜氣密性檢測，通過該裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格。然后將被檢工件內的氦氣回收循環使用，后向工件內充入規定壓力的SF6和氮氣工作氣體。

回收裝置的基本工作原理是采用冷凍液化法。在回收時，利用壓縮機的抽吸性和壓縮性把SF6電器設備內一定壓力的SF6氣體吸入壓縮機，并壓縮至某一較高的壓力。同時利用R22制冷劑的低蒸發溫度特性，將較高溫度的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進行液化、貯存。這樣連續抽吸至SF6壓縮機串聯運行，直至達到回收終壓力。

性能特點

1、安全

★ 電氣系統具有自我檢測、連鎖保護和報警功能，確保系統本身運行安全可靠和被檢工件的安全。

★ 真空箱門設安全光電保護裝置，確保操作者安全

★ 氦氣示蹤安全環保。

★ 儲氣罐和壓縮機出口配置安全閥保證系統安全。

2、高靈敏度

★ 檢漏精度高。

★ 抑零功能，消除氦本底影響。

汽車空調檢漏設備-氦氣檢漏在汽車空調檢漏上的應用

為確保汽車空調的制冷效果和使用壽命，汽車空調的蒸發器、冷凝器、壓縮機等的檢漏是不可少的，傳統的檢漏方法，由于其靈敏度低、使用煩雜、工作強度大等因素，如水檢法、鹵素法、壓力衰減法等已被高靈敏度、規范化、效率高的真空檢漏技術——氦充氣回收檢漏系統所替代并取得理想的效果。

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