氦質譜檢漏儀故障與處理

內部的密封結構

當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內部主要的密封部位在檢漏儀的后側(見圖2)，位于隔熱板的上方：①檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位，密封方式采用膠灌密封，檢漏儀在運輸過程中如遇到強烈震動，此處容易造成密封膠開裂。②各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封，橡膠圈的密封壽命有限，使用5 年以上時，有可能會存在密封失效的問題。③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。

定位方法

采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測，因檢漏儀內部結構緊湊，各密封結構間的距離很近，檢測時定位難度較大。經摸索，在檢測時采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先將分子泵風扇的電源斷開，避免風扇將氦源吹散至各個密封環節，造成定位不準確。②噴吹時，要嚴格控制氦源的流量，盡量采用噴槍咀流量小的噴槍，提高定位的能力。③儀器的反應時間小于1 s，所以在一個部位噴吹的時間約3 s，再等待約3 s 后觀測信號有無變化。

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氦質譜檢漏的應用

氦質譜檢漏常用的操作方法

板式換熱器的體積及換熱面積較大，如果單依靠氦質譜檢漏儀抽取真空，其不能滿足檢漏口真空度的要求，這樣需要另接抽真空機組。板翅式換熱器的氦質譜檢漏一般采用噴吹法和鐘罩法，如檢查內漏還可以采用吸入法進行檢漏。

噴吹法

該方法是將被檢件接在檢漏儀的檢漏口，用儀器的真空系統對其抽真空并達到真空銜接與質譜管溝通，然后用噴槍向漏孔噴吹氦氣。當有漏孔存在時，氦氣就通過漏孔進入質譜管被檢測。