真空箱法氦質譜檢漏的原理與系統特點

真空箱法氦質譜檢漏的充氣回收檢漏系統

1．配置與氣路控制

真空箱：一般為雙工位，兩個不銹鋼真空箱，開門裝置可采用液壓方式，或加配重的手動方式。

工件抽空系統：低真空泵及閥門，低真空測量充氮與回收系統：氦氣儲存罐(高壓罐)，氦氣回收取罐(低壓罐)，主壓縮機，輔壓縮機，過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。

真空箱抽氣系統：為自動控制型，由面板、PLC系統(可編程邏輯控制器)，充氦回收系統，真空箱抽氣系統的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計，同時，實施對整個系統的工作控制，對檢漏過程和結果顯示。

2.系統檢測過程

1)、通過v1、V4，泵系統對工件和真空箱抽真空，如果限定的時間內抽到限定的真空度，此時，電氣控制系統關閉V1，打開V2

2)、充氦系統通過V2對工件進行充氦至核定的壓力，穩定，關閉V2

3)、關閉V4，打開V3、V5，處在正常工作狀態待命的氦質譜檢漏儀進行檢漏，如果不漏，電氣控制系統指揮關斷V3、V5，打開V2對氦氣進行回收。

4)、關閉V2打開V6對真空箱放氣，開啟真空箱更換工件。

5)、如果第三點檢漏儀檢測到超過設定值(漏率)的工件，檢漏儀聲光報警，將：工作內的氦氣回收,對真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除，免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。

6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過大(不超過41),清潔泵也同樣。

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系統嚴格按照客戶的要求設計制造，采用模塊化的設計，充分考慮客戶的檢漏要求，同時也盡可能采用標準化的模塊和部件，保證了系統的可靠性和可維護性。真空箱式氦檢漏設備適用對空腔電力工件進行氦質譜檢漏SF6充注，首先對工件充注一定壓強的干燥壓縮空氣或氮氣，保壓判大漏。大漏合格后，對工件和真空箱抽真空，被檢工件充注氦氣，應用真空箱法進行氦質譜氣密性檢測；然后將被檢工件內的氦氣回收循環使用、充注SF6。全電腦控制，全自動檢測，排除操作者人為因素導致的誤判。自動判斷，聲光提示。

本設備嚴格按照“用戶技術要求”設計制造。

本設備適用對空腔電力工件進行氦質譜檢漏、SF6及氮氣充注，首先對工件進行真空內外壓強抽空，真空法判大漏。大漏合格后，對工件和真空箱抽真空，被檢工件充注氦氣，應用真空箱法進行氦質譜氣密性微檢漏檢測；然后將被檢工件內的氦氣回收循環使用、充注SF6及氮氣工作氣體。通過本裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格產品。

主要技術參數及要求：

1、 真空箱尺寸：長00mm×寬00mm×高00 mm

充氦氣壓力：0.05Mpa（可調）

2、 工作節拍：＜40分鐘/件

3、 箱內接口數量：大件1個工件接口。小件2個工作接口。

4、 氦氣回收率：95%-98%

5、 可檢漏率：≤2.8×10-6Pa m3/S

(報警漏率設置1×10-7Pam3/S時，應可檢出)

6、 保壓檢測時間：（1-600S可調）

7、 工件真空≤1000Pa

8、真空箱檢漏真空≤20 Pa

9、系統自身漏率：≤10-9 Pa m3/s

10、箱門開關方式：自動

真空箱體加送料車。料車尺寸高度需甲方確認。

真空箱式氦檢漏系統

以下是科創真空為您一起分享的內容，銳誠真空公司專業生產銷售氦檢漏設備，歡迎新老客戶蒞臨。

機械系統主要由以下四個單元構成：真空箱單元、充氦氣回收單元、檢漏單元、清氦單元。

1.1真空箱單元

真空箱單元由真空箱、真空泵組、真空測量裝置、真空閥、執行裝置及不銹鋼管道等組成。

真空箱：采用不銹鋼材質制造，其內表面在加工后經拋光和清洗處理，保證了良好的本底和ji少的藏氣，提高了真空箱的抽空效率。

1.2 充氦氣回收單元

充氦氣回收部分主要包括儲氣(高壓)罐、回收(低壓)罐、壓縮機、真空泵、電磁閥、真空閥、壓力傳感器、真空計和管道等組成。能在設定的時間內對工件進行抽空、充氦氣和氦氣回收等處理。

1.3 檢漏單元

真空箱式氦檢漏系統機械系統部分的氦檢漏單元，氦質譜檢漏儀采用進口產品，自動校準漏孔。技術成熟，性能穩定，安裝維護方便，使其和真空箱連接更加協調緊密。