真空法氦質譜檢漏

采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產品內部，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品泄漏量測量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣，可以實現漏孔的準確定位; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，在罩內充滿一定濃度的氦氣，可以實現被檢產品總漏率的測量。

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氦質譜檢漏儀的應用拓展

氦質譜檢漏儀的應用已從、大專院校、實驗室及少數科研機構走向工礦企業，甚至鄉鎮企業、個體企業，可以說應用領域極其寬廣。

航空航天高科技工業

1）例如火箭發動機及姿態發動機，過去是打壓刷肥皂水檢漏，現在重新改進工藝用氦質譜檢漏儀檢漏，采用正壓吸槍與氦罩法結合，使檢漏靈敏度大大提高，從而保證了發動機質量。火箭箭體的檢漏采用正壓吸槍、氦罩法、累集法等幾種方法的結合。由于檢漏技術的應用，提高了檢漏靈敏度，彌補了吸入法檢漏時儀器靈敏度低的不足。

2）KM6空間環模裝置設備龐大，主真空室直徑12m、高22m，另外有輔助真空室和載人艙等。容積3500m3，分系統多，結構復雜，各種接口焊縫相加有幾千米長，采用氦質譜檢漏儀負壓檢漏，每條焊縫由檢漏盒密封，配以鋪助抽氣系統將盒內抽低真空后，充入一定壓力氦氣，關閉預抽閥，開啟檢漏閥。由于盒內氦濃度較高，相對檢漏儀又有一定壓力，因此有效提高了檢漏靈敏度。

3）航天工業中，衛1星、各類閥門、電子元器件，傳感器等等都在廣泛應用氦質譜檢漏儀及其檢漏技術。

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氦質譜檢漏的成本控制

氦質譜檢漏相對于其他的檢漏方法，因使用抽真空機組及高純氦氣其經濟成本居高不下。筆者在生產制造檢測中摸索出一整套減少檢測費用的方法，使氦質譜檢漏具備了在板翅式換熱器生產中大規模使用的可能。

檢漏口真空度的控制

根據NB/T 47006 鋁制板翅式熱交換器中A.5 氦質譜檢漏和JB/T 7261 鋁制板翅式熱換器中漏率要求，檢漏口真空度一般要求為：1.33Pa。

在設計圖樣及供貨合同中對檢漏口真空度有明確要求的，按照其要求的檢漏口真空度進行檢測;如果沒有要求，根據大量的檢測經驗，將檢漏口真空度控制在1.0Pa-15Pa，這樣的一個檢漏口真空度并沒有降低檢測的準確性，但其抽真空所需的電費能減少20%-50%。