真空箱法氦質譜檢漏的原理與系統特點

真空箱法氦質譜檢漏的充氣回收檢漏系統

1．配置與氣路控制

真空箱：一般為雙工位，兩個不銹鋼真空箱，開門裝置可采用液壓方式，或加配重的手動方式。

工件抽空系統：低真空泵及閥門，低真空測量充氮與回收系統：氦氣儲存罐(高壓罐)，氦氣回收取罐(低壓罐)，主壓縮機，輔壓縮機，過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。

真空箱抽氣系統：為自動控制型，由面板、PLC系統(可編程邏輯控制器)，充氦回收系統，真空箱抽氣系統的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計，同時，實施對整個系統的工作控制，對檢漏過程和結果顯示。

2.系統檢測過程

1)、通過v1、V4，泵系統對工件和真空箱抽真空，如果限定的時間內抽到限定的真空度，此時，電氣控制系統關閉V1，打開V2

2)、充氦系統通過V2對工件進行充氦至核定的壓力，穩定，關閉V2

3)、關閉V4，打開V3、V5，處在正常工作狀態待命的氦質譜檢漏儀進行檢漏，如果不漏，電氣控制系統指揮關斷V3、V5，打開V2對氦氣進行回收。

4)、關閉V2打開V6對真空箱放氣，開啟真空箱更換工件。

5)、如果第三點檢漏儀檢測到超過設定值(漏率)的工件，檢漏儀聲光報警，將：工作內的氦氣回收,對真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除，免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。

6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過大(不超過41),清潔泵也同樣。

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真空箱氦檢漏基本功能

操作者把工件放在真空箱內，將工件接口與真空箱內的快速接頭進行連接，在真空箱門關閉后，系統能全自動的完成大漏檢測、工件強度檢測、抽空、充氦、檢漏、回收整個過程，生產節拍快，檢漏精度高。工藝流程編輯A1：安裝工件-----關真空箱門-----真空箱抽真空，同時工件內充高壓氮氣-----大漏及強度檢測；B1：若A1檢測不通過，則系統報警，大漏工件序號顯示-----檢測程序中止；B2：若A1檢測通過，放掉氮氣------對工件抽真空------真空箱內的氦氣本底抑零-----工件內充入氦氣-------真空模式，微漏檢測；C1：若B2檢測不通過，則系統報警-----循環檢，小漏工件序號顯示------檢測程序中止；C2：若B2檢測通過，真空箱內充入大氣，同時工件內氦氣回收-------真空箱開門，檢測完成。

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空調檢漏系統

不同類型的泄漏有著不同的表現。泄漏處的幾何結構、壓力、材料、濕度、溫度以及流量都是影響泄漏表現的因素。過多干擾因素給檢漏工作帶來了很大的挑戰。

以下三種難檢測類型是小編搜集和分析的案例。

類型 1：射束泄漏

在使用示蹤氣體檢漏時，有時可能只能定位極狹窄區域。與此同時，您卻得到泄漏指示，但是與測試對象遠離(幾英尺/分米)，因而原因不明。

您發現的泄漏可能是非常狹小且高速射出示蹤氣體細束，這幾乎跟激光器射出的窄激光束的情形一樣。離泄漏點越遠，射束就散開得越大，但即便距離泄漏點相當遠的距離，射束可能依然非常細窄。

氣體射束可能撞到操作員或周圍的結構并發生“回彈”，從而導致操作員弄不清楚射束的真實來源位置。如果注意到這種難以檢測的泄漏，就可以節省寶貴的檢測時間。

類型 2：不明顯的液體泄漏

對產品進行液體泄漏測試時，結果可能是產品不存在泄漏，但如果用示蹤氣體檢漏法進行檢測，就能夠可靠地發現泄漏。

漏孔可以將漏液以非常緩慢的速度送到泄漏處的表面，以致于液體在到達物體外部的表面時，即被蒸發。液體蒸發速度非常快，在泄漏點無明顯痕跡。

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