碳化硅的外延工藝是整個碳化硅產業中的一種非常關鍵的工藝,由于現在所有的器件基本上都是在外延上實現,所以外延的質量對器件的性能是影響是非常大的,但是外延的質量它又受到晶體和襯底。加工的影響,處在一個產業的中間環節,對產業的發展起到非常關鍵的作用。
碳化硅一般采用PVT方法,溫度高達2000多度,且加工周期比較長,產出比較低,因而碳化硅襯底的成本是非常高的。
在器件制備方面,由于材料的特殊性,器件過程的加工和硅不同的是,采用了高溫的工藝,包括高溫離子注入、高溫氧化以及高溫退火工藝。
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