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桌面式掃描電鏡的基本原理及應用

來源:深圳市中圖儀器股份有限公司   2025年02月13日 09:03  

桌面式掃描電鏡是掃描電子顯微鏡的一種類型,它在結構設計、功能特點等方面都有自身獨te之處,以下從其定義、原理、特點、應用場景等方面進行具體介紹:

1、定義與基本原理

- 定義:桌面式掃描電鏡是一種小型化、緊湊設計的掃描電子顯微鏡,通常可以放置在普通實驗室的桌面上使用,為用戶提供了一種相對便捷、經濟的微觀結構觀察和分析工具。

- 原理:與傳統掃描電鏡類似,桌面式掃描電鏡也是利用電子槍發射出的電子束,經過電磁透鏡聚焦和偏轉系統的作用,形成一束能量較高、直徑很細的電子探針。該電子探針在樣品表面進行逐點掃描,電子束與樣品相互作用,產生二次電子、背散射電子等信號。這些信號被探測器收集并轉換為電信號,再經過放大和處理后,在顯示器上顯示出樣品表面的微觀形貌圖像。

2、結構特點

- 緊湊的整體結構:將電子光學系統、真空系統、信號檢測系統等集成在一個相對較小的機箱內,體積通常明顯小于傳統的大型掃描電鏡,一般長度、寬度在幾十厘米左右,高度也相對較低,占用實驗室空間小,便于安裝和使用。

- 簡單的真空系統:采用相對簡單的真空獲取和維持裝置,如可能使用小型的機械泵和渦輪分子泵組合,能夠在較短時間內達到所需的真空度,而且真空系統的操作和維護相對容易。

- 靈活的樣品臺:配備的樣品臺雖然尺寸較小,但通常具備多種運動功能,如平移、旋轉、傾斜等,方便用戶對樣品進行不同角度和位置的觀察,以獲取全面的微觀結構信息。

3、性能特點

- 中等分辨率:一般來說,桌面式掃描電鏡的分辨率能夠達到納米級別,通常在3 - 10納米左右,雖然與大型掃描電鏡相比分辨率稍低,但足以滿足許多常規的材料微觀結構觀察和分析需求,如觀察材料的表面形貌、顆粒大小和分布等。

- 較低的加速電壓:加速電壓一般在1 - 30千伏之間可調,較低的加速電壓可以減少電子束對樣品的損傷,尤其適用于一些對電子束敏感的樣品,如生物樣品、高分子材料等。

- 快速成像:具備較快的掃描速度和成像能力,能夠在較短時間內獲取樣品表面的圖像,提高了工作效率,對于一些需要快速觀察和初步分析的樣品非常適用。

4、應用場景

- 材料科學:可用于觀察金屬材料的微觀組織、陶瓷材料的晶粒結構、高分子材料的表面形貌等,幫助研究人員了解材料的微觀結構與性能之間的關系,進行材料的研發和質量控制。

- 電子工業:在半導體制造、電路板生產等領域,用于檢測芯片表面的缺陷、觀察電路板上的焊點質量、分析電子元件的微觀結構等,保障電子產品的質量和性能。

- 生物醫學:能夠對生物樣品如細胞、組織切片等進行觀察,輔助醫學研究和診斷,例如觀察癌細胞的形態特征、研究生物材料與細胞的相互作用等。

- 教育教學:適合在高校、中學的實驗室中作為教學工具,幫助學生直觀地了解微觀世界,進行材料科學、生物學等相關課程的實驗教學,培養學生的科學素養和實踐能力。

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CEM3000臺式掃描電鏡現場隨機進行70000X倍成像

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