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量塊損壞了的正確處理方法
?一、停用與初步檢查?
?立即停用?:發(fā)現(xiàn)量塊表面存在毛刺、銹蝕、劃痕或明顯變形時(shí),應(yīng)立即停止使用,避免誤差傳遞至下游檢測(cè)環(huán)節(jié)?。
?初步檢測(cè)?:
使用天然油石打磨毛刺或輕微銹蝕區(qū)域,觀察是否可恢復(fù)基準(zhǔn)面平整度?。
借助平晶(光學(xué)平面基準(zhǔn)器)檢測(cè)量塊平面度,彎曲量≤1.5μm的可嘗試修復(fù),超過(guò)則需評(píng)估報(bào)廢?。
?二、維修處理流程?
?維修條件?:
場(chǎng)所需恒溫(20±0.5℃)、無(wú)塵,并配備百級(jí)潔凈工作臺(tái),防止環(huán)境粉塵污染修復(fù)面?。
工具要求:使用Φ60mm以上高精度平晶、金剛石研磨膏(粒度≤0.5μm)及專(zhuān)用接鐵夾具?。
?修復(fù)步驟?:
?預(yù)處理?:將量塊凸面研合在平晶或接鐵上固定,優(yōu)先修復(fù)凹面,再處理凸面?。
?研磨操作?:以8字形軌跡手工研磨,壓力≤10N,每研磨3次翻轉(zhuǎn)量塊并觀察接觸斑點(diǎn),避免局部過(guò)熱變形?。
?精度驗(yàn)證?:修復(fù)后需用激光干涉儀復(fù)測(cè)長(zhǎng)度偏差,確保符合等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)(如00級(jí)允許偏差±0.10μm)?。
?三、報(bào)廢判定標(biāo)準(zhǔn)?
?不可修復(fù)情形?:
表面存在深度≥0.5μm的劃痕或凹坑,導(dǎo)致粘合效應(yīng)失效?。
年穩(wěn)定性超差(如K級(jí)量塊年尺寸變化>0.02μm)?。
?報(bào)廢處理?:
登記后物理破壞(如鉆孔、切割),防止誤用流入生產(chǎn)線?。
?四、記錄與管理?
?臺(tái)賬更新?:詳細(xì)記錄損壞原因、修復(fù)/報(bào)廢日期、操作人員及檢測(cè)數(shù)據(jù),支持全生命周期追溯?。
?周期校準(zhǔn)?:修復(fù)后的量塊需縮短校準(zhǔn)周期(如從1年調(diào)整為3個(gè)月),確保可靠性?。
?五、注意事項(xiàng)?
?避免懸浮貼合?:修理時(shí)需確保量塊與接鐵、平晶貼合,防止空氣雜質(zhì)影響平面性?。
?手法規(guī)范?:研磨力度均勻,單次連續(xù)操作時(shí)間≤10分鐘,避免熱膨脹導(dǎo)致二次變形?。
(注:以上流程需由具備計(jì)量資質(zhì)的專(zhuān)業(yè)人員操作,非專(zhuān)業(yè)人員禁止擅自維修?
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