Metrology sensors GmbH開(kāi)發(fā)和制造尖duan技術(shù)，以提高顯微鏡自動(dòng)化和I系統(tǒng)的香吐量和質(zhì)量。1SG的解決方案包括用于2和80表面的高速自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)、只寸測(cè)量傳感器電機(jī)控制和光電組件。MSG的技術(shù)應(yīng)用于各種行業(yè)，包括半導(dǎo)體、晶圓和電子產(chǎn)品的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)、顯示檢測(cè)和修復(fù)系統(tǒng)以及生物醫(yī)學(xué)視覺(jué)系統(tǒng)。MSG為其發(fā)揮的關(guān)鍵作用感到自豪，無(wú)論是在基礎(chǔ)研究、提高生產(chǎn)效率還是通過(guò)直接向品終用戶提供解決方案進(jìn)行質(zhì)量檢查，還是為OEM供應(yīng)商提供嵌入式技術(shù)。

◆自動(dòng)對(duì)焦傳感器:基于激光的焦點(diǎn)跟蹤系統(tǒng)LAF傳感器旨在實(shí)現(xiàn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備和工業(yè)顯微鏡的實(shí)時(shí)焦點(diǎn)跟蹤。該傳感器廣泛用于平板顯示器、電子器件和半導(dǎo)體的A0I系統(tǒng)我們的技術(shù)可實(shí)現(xiàn)以下焦點(diǎn)跟蹤:

無(wú)圖案表面

具有高對(duì)比度變化的圖案表面

具有高倍率透鏡的最小結(jié)構(gòu)

功能:

混合激光/圖像跟蹤

三明治基板的多表面聚焦

自動(dòng)設(shè)置

參考型號(hào):LAF4、LAF5、LAF5-CH

◇LAF5直線激光自動(dòng)聚焦跟蹤系統(tǒng):

用于自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)(A0I)系統(tǒng)和工業(yè)顯微鏡的自動(dòng)聚焦和跟蹤

傳感器投射一條激光線聚焦在樣品上

適用于放大倍率為2倍至100倍的無(wú)限校正透鏡，可見(jiàn)光、近紅外、V、DUVUI界面和軟件庫(kù)

◆電機(jī)驅(qū)動(dòng)器接口:

為了能夠?qū)G的自動(dòng)對(duì)焦傳感器快速簡(jiǎn)單地集成到現(xiàn)有的機(jī)器設(shè)計(jì)中，ISG為步進(jìn)電機(jī)和伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)器提供了優(yōu)化的控制，以實(shí)現(xiàn)最佳性能的閉環(huán)系統(tǒng)。LAF-C2電機(jī)接口

LAF-C3電機(jī)接口與照明端口

LAF-C2用于LAF自動(dòng)聚焦和跟蹤傳感器的步進(jìn)/同服電機(jī)驅(qū)動(dòng)接口

單個(gè)連接到LAF傳感器，從msc自動(dòng)對(duì)焦到您的機(jī)器的所有連接都通過(guò)LAF-C2

雙向脈沖輸出電流源，用于驅(qū)動(dòng)步進(jìn)/伺服驅(qū)動(dòng)器的光隔離器

高質(zhì)量聚焦信號(hào)的模擬輸出

可選:

模擬輸出給出距離信號(hào)或具有未來(lái)的可配置速度信號(hào)固件發(fā)布(控制伺服驅(qū)動(dòng)器限位開(kāi)關(guān)和安全停止的輸入RS232，用于與PC進(jìn)行傳感器通信◇LAF5S-C2:1xLAF5傳感器&1xLAF-C2步進(jìn)/同服驅(qū)動(dòng)控制器

德國(guó)MSG、MSG傳感器、MSG伺服驅(qū)動(dòng)器、MSG控制器