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 螺桿式真空泵與螺桿式壓縮機的工作原理相同。國內外均有市銷產品，特別適用于化工、制藥、航天航空等需要清潔抽氣的環境。其基本結構有兩種：

（1） 螺桿式真空泵在螺桿式壓縮機中，螺旋轉子的螺旋圈數在1圈以上，而螺桿真空泵的螺旋轉子的螺旋圈數在2圈以上。這樣可以減少返流量，提高壓縮比。單級泵可從泵105Pa的極限壓力，通常抽數為60-120m3/h.螺桿式真空泵的工作原理如圖2-87所示。
（2） 矩形螺旋式真空泵，它由矩形段面的右螺旋和左螺旋的一對轉子相嚙合，由同步齒輪帶動實現非接觸式的高速運轉，氣體有上側進入，在泵腔內壓縮，由轉子下端排除，轉子旋轉一周排氣一次。由于轉子和泵體內形成一種螺旋密封結構，矩形斷面間隙泄露較少，加上它的螺旋圈數多，故可以得到比螺桿式泵較高的壓縮比。這種泵可以從105Pa 抽到極限壓力10-1Pa,通常抽速為40-80m3/h.。矩形螺旋真空泵原理示意圖如圖2-88所示。

（3） 目前國外出現了變螺距的設計，提高了效率、降低了排出氣體的溫度。此類型的泵可以從大氣壓下開始全速抽吸至壓力為130Pa,而其極限真空可達1.3Pa，抽數從120-2700m3/h。