質譜技術用來檢測和分離同位素，經過長期不斷完善，現已成為一種具有優勢的分析技術。由于其具有高精度及高靈敏度的優點，作為檢測和分析的主要手段已被廣泛應用于多種領域。殘余氣體檢測質譜儀分別以空氣、空氣/氬氣混合氣體為樣品，研究了質譜儀的進樣輸運效應。利用空氣/氬氣混合氣體作為標準樣品，進行了質譜峰強對濃度的標定，獲得了分析儀對殘余空氣定量分析的標定關系。研究發現：由于輸運過程，注入樣品由于不同成分的輸運速率、排空速率不同，樣品不同成分在質譜儀內的量與其原始物質的量有所不同。
在低溫等離子體化學反應過程中會生成多種中間和最終產物，殘余氣體檢測質譜儀是識別和分析這些復雜物質成分的有效工具。分析新生物種及其反應機理，不僅需要定性識別，更需要定量分析，因此探索利用質譜儀實現等離子體化學反應體系成分的定量診斷技術具有廣闊的應用前景。質譜分析儀配置有復雜的腔體結構、超高真空機組以及樣品注入和輸運通道，因此氣體樣品需經歷緩慢的輸運過程，才能在分析儀腔體內穩定分布。從氣體樣品注入到穩定分布的歷程中，不同時刻的質譜分布不斷演變，此即進樣輸運過程。在輸運過程的不同階段，掌握質譜峰相對強度的演變規律是實現氣體成分定量分析的關鍵。
殘余氣體檢測質譜儀結構緊湊，堅固耐用，采用適用工業現場和野外使用的堅固的儀器外殼，整體重量小。優異的靈敏度和測量精度，使其特別適用于特定無機化合物和有機化合物(VOC)的動態在線檢測，使得現場檢測具備了實驗室分析的水平。配備NIST標準譜庫后，能夠對未知樣品進行定性識別和定量分析。一臺儀器匹配不同的采樣裝置，即可滿足大部分日常測試應用的需求。功能強大的分析軟件可以快速收集數據，在精確快速定量顯示實時濃度變化趨勢的同時，還能夠顯示完整質譜圖，實現定性分析。
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