資料簡介
測量范圍廣:5 X 10 -7~1 Pa |
■全金屬冷陰極陶瓷傳感器 |
■新型幾何電極提供了*的點火性能 |
■降低等離子點火高電壓和鈦陰極板污染的危險,即使在氬濺射過程中也一樣 |
■陽極環和鈦陰極可清洗,更換容易 |
■zui小磁場強度測量 |
■ LED指示燈電源和等離子點火 |
■對數模擬輸出信號 |
■ Fieldbus總線接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系統的網絡通信 |
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