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潔凈檢測區的壓差控制原理-GTI115

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  • 上傳時間

    2025年04月22日
關鍵詞
GTI,吉泰精密,半導體,差壓表,電子設備
上傳者
吉泰精密儀器(沈陽)有限公司
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資料簡介

當車間產品異物高發時,工程師按照人機料法環測幾個方面排查原因,當排查到環境時,無塵車間的壓差是必須要排查的。

一、壓差控制原則:

1、潔凈室與周圍的空間必須維持一定的壓差,并應按工藝要求決定維持正壓差,通常情況潔凈度高的區域流向潔凈度低的區域,使潔凈室的潔凈度不受到污染空氣的干擾

2、不同級別的相鄰房間的壓差應至少為10Pa。應特別注意關鍵區域的保護。

EU GMP/FDA :不同級別采用的壓差值為10-15Pa,建議12.5Pa。
中國GMP2010版:要求潔凈區與非潔凈區之間、不同級別潔凈區之間的壓差應不低于10Pa。
3、潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風量,一般采用換氣次數法確定。


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