壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應而構成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內。當壓力發生變化時,單晶硅產生應變,使直接擴散在上面的應變電阻產生與被測壓力成正比的變化,再由橋式電路獲相應的電壓輸出信號。中文名壓阻式壓力傳感器外文名Piezoresistivepressuresensor又稱擴散硅壓力傳感器類型壓力式傳感器的一種核心部分N型的圓形硅膜片應用航天、航空、航海、石油化工1壓阻式壓力傳感器應用壓阻
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