等離子體表面處理儀是通過利用對氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子狀態,利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等的目的。中文名等離子體表面處理儀外文名PlasmaCleaner定義電子設備目的清潔、改性、光刻膠灰化等用途醫用材料研究,生物芯片領域處理對象金屬,半導體,氧化物等1簡介等離子體表面活性儀(PlasmaCleaner)2工作原理首先,我們來說一下什么叫做等離子體。等離子體又叫做電漿,是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產生的正負電子組成的離子化氣體狀物質,它廣
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