在線氣體質譜儀的工作流程圖氣體樣品→進樣系統→離子源→質量分析器→離子檢測器→數據處理及控制系統,離子源、質量分析器、離子檢測器必須在真空下工作(10–4pa)。進樣系統--可用卡套直接把樣品毛細管接到反應器,通過持續不斷的進樣、快速的檢測,實時在線檢測樣品氣體的種類和含量的變化。進樣壓力(100mbar-2bar),響應時間可短至300ms。進樣毛細管主要有石英毛細管和不銹鋼毛細管兩種。石英不會和酸性氣體反應且氣體不容易吸附在其表面。離子源--一般都選用電子轟擊離子源(EI)。中性分子被70ev的電子轟擊
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