光學顯微鏡

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3D高精度共聚焦顯微鏡
中圖儀器VT6000系列3D高精度共聚焦顯微鏡集成XYZ三個方向調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前工作。儀器以轉盤共聚焦光學系統為基礎，結合高穩定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統，保證儀器的高測量精度。
白光共聚焦測量顯微鏡
中圖儀器VT6000白光共聚焦測量顯微鏡以尼普科夫轉盤共聚焦光學系統為測量原理，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
共聚焦光學測量顯微鏡
VT6000共聚焦光學測量顯微鏡基于光學共軛共焦原理，結合高穩定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統，保證儀器的高測量精度。主要用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。
高分辨率共聚焦顯微鏡系統
VT6000高分辨率共聚焦顯微鏡系統采用全電動化設計，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格，實現了所見即所得的快速檢測效果。它能夠清晰地展示微小物體的圖像形態細節，顯示出精細的細節圖像。
共聚焦三維表面形貌測量顯
VT6000共聚焦三維表面形貌測量顯微鏡可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
中圖chotest共聚焦顯微鏡
中圖chotest共聚焦顯微鏡具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能，以及具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能，可進行長度、角度、半徑等尺寸測量。
國產共聚焦3D材料分析顯微
VT6000國產共聚焦3D材料分析顯微鏡以轉盤共焦光學系統為基礎，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像，從而進行分析的精密光學儀器，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。
材料3D形貌共聚焦測量顯微
VT6000材料3D形貌共聚焦測量顯微鏡基于光學共軛共焦原理，結合精密縱向掃描，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，從而實現器件表面形貌3D測量。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
非接觸式3D共聚焦顯微系統
VT6000非接觸式3D共聚焦顯微系統以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，在相同物鏡放大的條件下，所展示的圖像形態細節更清晰更微細，橫向分辨率更高。
3D影像測量共聚焦顯微鏡
VT6000系列3D影像測量共聚焦顯微鏡擅長微納級粗糙輪廓的檢測，配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節的展現纖毫畢現。

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