一、壓力傳感器工作原理
高溫壓力傳感器的工作原理風壓傳感器的壓力直接作用在傳感器的膜片上,使膜片產生與介質壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻發生變化,和用電子線路檢測這一變化,并轉換輸出一個對應于這個壓力的標準信號。
二、相關參數
量 程: -0.1~0~1~150(MPa) 綜合精度:0.25%FS、0.5%FS
輸出信號: 4~20mA(二線制)、0~5V、1~5V、0~10V(三線制)
供電電壓: 24DCV(9~36DCV)
介質溫度: -20~800℃
環境溫度: 常溫(-20~85℃)
零點溫漂移: ≤±0.05%FS℃
量程溫度漂移: ≤±0.05%FS℃
補償溫度: 0~70℃
安全過載: 150%FS
極限過載: 200%FS
響應時間: 5 mS(上升到90%FS)
負載電阻: 電流輸出型:zui大800Ω;電壓輸出型:大于5KΩ
絕緣電阻: 大于2000MΩ (100VDC)
密封等級: IP65
*穩定性能: 0.1%FS/年
振動影響: 在機械振動頻率20Hz~1000Hz內,輸出變化小于0.1%FS
三、材質
是由硅膜片、襯底、下電極和絕緣層構成。其中下電極位于厚支撐的襯底上。電極上蒸鍍一層絕緣層。硅膜片則是利用各向異性腐蝕技術,在一片硅片上從正反面腐蝕形成的。上下電極的間隙由硅片的腐蝕深度決定。硅膜片和襯底利用鍵合技術鍵合在一起,形成具有一定穩定性的硅膜片電容。