小型單軸壓電驅動器是為壓電掃描定位設計的壓電促動器,廣泛用于掃描探針顯微鏡壓電驅動原子力顯微鏡壓電驅動和微納操作,非常在開放和閉環系統中的光學元件壓電驅動和掃描探針壓電驅動應用。
小型單軸壓電驅動器應用
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
納米定位
計量學應用
生物學研究
電子學應用
特點
雙電容傳感器反饋技術
低頻噪聲電阻
補償壓電陶瓷的蠕變效應
水平方向上掃描位移行程120µM
超高分辨率，為0.1nm
低成本
設計緊湊，重量輕，剛度高
是顯微鏡應用的理想單軸壓電驅動器,Piezo Actuator
通用性強
產品規格
運動特性
主動軸 Z
Z軸運動距離, µm 120
分辨率（閉環）nm 1
分辨率（開環）,nm 0.1
整范圍內的角度傾斜，° ＜0.01
大掃描速度， Hz 10
控制性能
電容量，PF 20
機械性能
諧振頻率的Z， kHz 3
負載容量, g 100
操作溫度范圍，°C - 40…80
尺寸，mm 30 x 30 x 22
材料 鋁
