1.高溫壓力傳感器產品概述

高溫壓力傳感器是工業實踐中為常用的一種壓力變送器，其廣泛應用于各種工業自控環境，涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產自控、航空航天、、石化、油井、電力、船舶、機床、管道送風、鍋爐，熔爐等眾多行業。

是為了解決在高溫環境下對各種氣體、液體的壓力進行測量。主要用于測量鍋爐、管道、高溫反應容器內的壓力、井下壓力和各種發動機腔體內的壓力、高溫油品液位與檢測、油井測壓等領域。目前，研究比較多的主要有SOS，SOI，SiO2，Poly2Si等半導體傳感器，還有濺射合金薄膜、高溫光纖壓力傳感器和高溫電容式壓力傳感器等。半導體電容式壓力傳感器相比壓阻式壓力傳感器其靈敏度高、溫度穩定性好、功耗小，且只對壓力敏感，對應力不敏感，因此，電容式壓力傳感器在許多領域得到廣泛應用。

由硅膜片、襯底、下電極和絕緣層構成。其中下電極位于厚支撐的襯底上。電極上蒸鍍一層絕緣層。硅膜片則是利用各向異性腐蝕技術，在一片硅片上從正反面腐蝕形成的。上下電極的間隙由硅片的腐蝕深度決定。硅膜片和襯底利用鍵合技術鍵合在一起，形成具有一定穩定性的硅膜片電容壓力傳感器。

2.工作原理

的工作原理風壓傳感器的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產生與介質壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉換輸出一個對應于這個壓力的標準信號。

3.相關參數

量 程： -0.1～0～1～150(MPa) 綜合精度：0.25%FS、0.5%FS

輸出信號： 4～20mA(二線制)、0～5V、1～5V、0～10V(三線制)

供電電壓： 24DCV(9～36DCV)

介質溫度： -20～800℃

環境溫度： 常溫(-20～85℃)

零點溫漂移： ≤±0.05%FS℃

量程溫度漂移： ≤±0.05%FS℃

補償溫度： 0~70℃

安全過載： 150%FS

極限過載： 200%FS

響應時間： 5 mS(上升到90%FS)

負載電阻： 電流輸出型：大800Ω；電壓輸出型：大于5KΩ

絕緣電阻： 大于2000MΩ (100VDC)

密封等級： IP65