島津光譜儀，島津ICP采用的晶體管固態高頻發生器，是目前商品化ICP光譜儀中，體積小、重量輕的發生器。霧化效率高，達到65%。所以，載氣可以用工業氬氣（99.95%），而無需使用高價的高純氬氣（99.999%）。
島津光譜儀的光譜儀具有高的分辨率和信噪比、更好的強度準確性和波長準確性以及強的抗外界干擾性和優良的儀器穩定性，在儀器的軟件上，要求能夠進行導數、去卷積等復雜的數學計算，能夠計算光譜間相似度、模式識別分析、支持多元校正分析和用戶自建譜庫并進行檢索。它主要由X光管、探測器、CPU以及存儲器組成，由于其便攜具有高效、便攜、準確等特點，使其在合金、礦石、環境、消費品等領域有著重要的應用。
采用原子發射光譜學的分析原理，樣品經過電弧或火花放電激發成原子蒸汽，蒸汽中原子或離子被激發后產生發射光譜，發射光譜經光導纖維進入光譜儀分光室色散成各光譜波段，根據每個元素發射波長范圍。通過光電管測量每個元素的*譜線，每種元素發射光譜譜線強度正比于樣品中該元素含量，通過內部預制校正曲線可以測定含量，直接以百分比濃度顯示。
1、直讀光譜儀排氣不暢故障，氬氣排氣管路堵塞，火花室下部的彎頭內有異物，氬氣過濾器入口端有異物。處理辦法：更換排氣管，要更換透明的塑料管，并定期對排氣管路進行吹掃。2、直讀光譜儀溫度偏高故障。處理辦法：檢查儀器后蓋風扇是否轉動，轉動是否靈活。3、直讀光譜儀真空泵不自動啟動故障。處理辦法：先看泵油溫度是否較低，重新斷電后，手動啟動真空泵，有時需停頓一下，再試。
