ICP單道掃描光譜儀輸出功率自動匹配調諧，功率參數軟件程序設定.分光器內充氬氣，使波長在180nm的硫和189nm的Sn得到很靈敏的效果
ICP單道掃描光譜儀技術指標
1.射頻發生器（RF）
(1) 電路類型：自激振蕩電路，全自動點火，所有功能實現電腦軟件控制(點火、熄火、功率等參數設置)；實時功率控制；自動匹配調諧；光室恒溫；
(2) 工作頻率：40.68MHZ±0.05%
(3) 頻率穩定性：<0.1%
(4) 輸出功率：700－1600w
(5) 輸出功率穩定性：≤0.3%
(6) 電磁場泄漏輻射強度：距機身300mm 電場強度E:<2V/m
2.進樣裝置:
(1) 輸出工作線圈內徑25mm，3匝
(2) 炬管：外徑20mm的石英炬管
(3) 同軸型噴霧器外徑6mm
(4) 雙筒形霧室外徑35mm
(5) 氬氣流量計規格和載氣壓力表規格：
①、 等離子體流量計（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min)
②、 輔助氣流量計（6-60）L/h ；(0.1-1L/min)
③、 載氣流量計（6-60）L/h ；(0.1-1L/min)
④、 載氣穩壓閥（0-0.4MPa）
儀器內設氬氣二次穩壓閥（0.3MPa）
3.測光裝置:
(1) 光電倍增管規格： R212UH
(2) 光電倍增管負高壓：200-1000V ，穩定性<0.05%
(3) 光電倍增管電流測量范圍：10-12 -10-4A
(4) 信號采集為V/F交換：1mV對應100Hz
