半導體行業的等離子表面處理設備
1、產品規格 | |||
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國華GH-13MM系列等離子體表面清洗系統標準配置表 | |||
機臺名稱 | 等離子體表面清洗系統 | ||
機臺型號 | GH-13MM | ||
機臺用途 | 5種氣體通入,不同組合用于不同工藝制造,可用于高頻板PTFE類、軟硬結合板、多層軟板等除膠渣等制造工藝,柔性板化金前后清洗、打線邦定前清洗等處理,SMT前清洗等 | ||
技術參數 | 備注 | ||
1 | 機臺整機規格 | 2000(W)*1300(D)*1960(H) |
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2 | 真空室規格 | 進口鋁 1030(W)*910(D)*930(H) |
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3 | 電極板規格 | 進口鋁900(W)*600(D) |
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4 | 單層有效處理區尺寸 | 814(W)*560(D) |
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5 | 真空電極結構 | 水平電極板13層, 處理12層工件 |
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6 | 真空泵系統 | 漢中泵組 |
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7 | PLC自動控制系統硬件 | OMRON/SIEMENS-PLC及擴展模塊(D/A轉換、A/D轉換、溫度控制) | 日本歐姆龍/西門子 |
8 | 人機工控系統 | 觸摸屏式全中文界面 |
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9 | 變頻控制系統 | PID閉環控制,真空度可維持 |
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10 | 機臺冷卻系統 | 采用內部獨立中通冰水循環冷卻系統 |
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11 | 溫度控制系統 | 日本歐姆龍OMRON溫度傳感模塊,PID閉環控制,溫度可控 |
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12 | 冰水機 | 5.0P雙泵 |
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13 | 真空測定系統 | 皮拉尼電阻式真空計 | 日本愛發科 |
14 | 真空供氣系統 | Ф6品牌軟管+不銹鋼鎖套管路 | 進口優質不銹鋼 |
15 | 真空排氣系統 | 全不銹鋼管路+波紋管 | 進口優質不銹鋼 |
16 | 破真空系統 | 倒計時自動開合啟動 |
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17 | 氣體控制系統 | 電磁閥控制 | 日本CKD |
18 | 氣體計量系統 | 3路精確質量流量控制計:MFC | SevenStar |
19 | 等離子發生器 | 額定功率:0-20KW,全自動匹配(國華自主研發) |
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20 | 其他組件 | 國內外品牌元器件 |
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21 | 機臺總重 | 約2500kg |
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22 | 額定功率 | 額定功率 35KW |
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23 | 機臺供電 | AC-380V-50Hz,三相五線 |
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24 | 腔體材質 | 進口鋁 |
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25 | 電極板數量 | 13層處理區12層 |
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26 | 單次處理時間 | 10-60分鐘不等(根據產品特征,時間設定不同) |
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27 | 工作真空度 | 0.15~0.3Torr (可根據要求設定,可恒定真空度) |
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28 | 真空泵極限壓力 | 5pa以下 |
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29 | 抽真空時間 | 抽到工作真空≤180秒 |
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30 | 破真空時間 | ≤60秒 |
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31 | 供氣方式 | 電磁閥式 |
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32 | 氣體入口及流量計調節范圍 | 5路獨立MFC,N2和CF4,0-1000sccm(毫升/分鐘), O2,0-3000sccm(毫升/分鐘) |
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33 | 溫度控制調節范圍 | 5匹速冷,30-85℃可調 |
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34 | 操作方式 | 人工取放工件,一鍵啟動自動控制 |
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半導體行業的等離子表面處理設備
我們在工業應用中發現一些橡膠塑料件在進行表面連接的時候會出現粘接困難的問題,這是因為聚丙烯、PTFE等橡膠塑料材料是沒有極性的,這些材料在未經過表面處理的狀態下進行的印刷、粘合、涂覆等效果非常差,甚至無法進行。有些工藝用一些化學藥劑對這些橡塑表面進行處理,這樣能改變材料的粘接效果,但這種方法不易掌握,化學藥劑本身具有毒性,操作非常麻煩,成本也較高,而且化學藥劑對橡塑材料原有的優良性能也有影響。
利用等離子技術對這些材料進行表面處理,在高速高能量的等離子體的轟擊下,這些材料結構表面得以大化,同時在材料表面形成一個活性層,這樣橡膠、塑料就能夠進行印刷、粘合、涂覆等操作。應用等離子技術對橡塑表面處理,等離子清洗機操作簡單,處理前后沒有有害物質產生,處理效果好,效率高,運行成本低。
等離子清洗機的應用領域包括橡膠、復合材料、玻璃、布料、金屬等,涉及各行各業,這篇文章中我們主要介紹其在橡膠、塑料領域一些行業的具體應用。
等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機,或者等離子清洗機,是一種全新的高科技技術,利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子清洗機是物質的一種狀態,也叫做物質的第四態,并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的"活性"組分包括:離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現清潔、涂覆等目的。
此項技術作為一種新型的材料表面改性方法,等離子表面處理設備因效果好被廣泛用各領域中,下面通幾個方面給大家介紹:
金屬表面去油及清洗:
金屬表面常常會有油脂、油污等有機物及氧化層,在進行濺射、油漆、粘合、鍵合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前,需要用等離子表面處理設備來得到*潔凈和無氧化層的表面。
使用這種等離子技術,可以根據特定的工藝需求,高效地對材料進行表面預處理。 等離子處理機的應用領域 等離子表面處理技術可以和多種不同的后續加工工藝相配合,其中典型的后續加工包括印刷、粘接、涂裝。等離子技術幾乎適用各種領域的工業應用,能為不同材料或者復合材料提供后續的粘接、涂裝、印刷前處理,使兩種不同材料有效而又可靠的結合在一起。
等離子體能量所提供的超精細清洗去除所有顆粒。塑料外殼上具有更高的表面張力,可顯著改善涂層分散和粘接力,從而可以使用水性油漆。生產過程的廢品率可大大降低。(等離子表面處理設備)可將等離子技術集成到現有的涂裝生產線中。
電子工業中,等離子清洗處理工藝是一項能夠實現成本效益和可靠工藝的關鍵技術,給印刷電路板印上導電涂層之前,*行等離子活化處理,(等離子表面處理設備)微細清洗和除靜電處理,可以確保涂層牢固的附著,在芯片封裝領域采用表面等離子清洗技術,就不再需要真空腔體。(等離子表面處理設備)先要對塑料視窗部分進行等離子處理,由于采用等離子技術,使材料的表面性能提高,因此涂層分布更加均勻,這不僅造成了無懈可擊的產品外觀,還大大降低了生產過程中的廢品率。
等離子表面處理設備進行處理能夠為我們帶來哪些主要優勢?技術適用于在線工藝,例如,在對連續型型材、管件進行包護、膠粘,粘結或者涂層之前進行等離子清洗。該項技術適合用于機器人,也就是說,借助機器人可用等離子射流對 表面進行掃描。通過 等離子表面處理設備 可以進行局部的表面清洗,不會接觸其余表面部分,例如,在焊線(引線焊接)前對 Al, Au 和 Cu 材質的焊盤進行清洗,無需接觸表面的其余部分。
昆山國華電子提供等離子技術的咨詢;等離子處理系統設備、電子產品、機電設備、機械設備、線路板、工業自動化設備、電子元器件、儀器儀表的設計、研發、生產、銷售、技術服務和維修服務;光電產品、光電材料、電子產品及零部件、LED產品、五金交電、金屬材料、辦公用品、勞保用品、非危險性化工材料及產品的銷售;機電工程、土木工程;軟件設計、研發;貨物及技術的進出口業務。(依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動)
在電子產品中柔性電路板(FPC)被廣泛使用,柔性電路板是以聚酰亞胺或聚酯薄膜為基材制成的一種具有高度可靠性的可撓性印刷電路板,具有配線密度高、重量輕、厚度薄和彎折性好的特點,FPC柔性電路板的特點是輕薄短小,因此也受到了多數智能電子產品的***選擇,柔性線路板在使用過程中也很容易產生打、折、傷痕等操作,機械強度小,易龜裂。所以貼合補強材料(stiffener)的目的是為了加強FPC柔性線路板的機械強度,方便PCB表面裝零件等,柔性電路板所用到的補強膠片類型多種,根據制品使用要求不同而定,有鋼片、FR4、PI和鋁箔等,解決FPC的柔韌度特性,提高插接部位的強度,方便產品的整體組裝。FPC鋼片補強平整性好,硬度強.一般用于BGA(攝像頭類)類型,便于焊接. 還有的鋼片需要接地性能,需要在FPC地線上開窗以及連接FPC與鋼片的需為熱壓導電膠. 增加厚度,硬度。