俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)又稱俄歇電子能譜AES及低能電子衍射LEED樣品表面深度分析系統(tǒng)。基于俄歇電子能譜AES、低能電子衍射LEED、及氬離子濺射深度分布的分析系統(tǒng)，完成對(duì)薄膜及合金的元素組成和深度分布的分析。 非接觸式測(cè)量薄膜及合金元素組成。 帶樣品預(yù)抽真空室 （load-lock腔室）。   特性：    -對(duì)原子結(jié)構(gòu)，元素組成和厚度分析達(dá)到“亞納米級(jí)”精度    -大范圍樣品分析    -半自動(dòng)化操作 

俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)系統(tǒng)特性 俄歇電子能譜AES分析器 分析器型號(hào)-延遲型區(qū)域分析器，自帶同軸電子槍 能量分辨率：<5% 工作距離 10mm 檢測(cè)器: 1e7至1e8增幅范圍的電子倍增器通道 安裝法蘭-4.5英寸O.D.標(biāo)準(zhǔn)CF法蘭（NW63CF)   電子槍： 型號(hào) ：帶可調(diào)焦距和束斑直徑的雙靜電透鏡 束流電壓：0-3KV 束流電流：大50uA 束流直徑：大800um 燈絲：鎢燈絲 磁罩：帶前置保護(hù)殼的Mu罩   深度離子濺射槍 離子源  在磁場(chǎng)內(nèi)電子沖擊形成離子 離子化陰極  鎢-錸燈絲             直接安裝于70mmO.D.CF法蘭 束流電流：大10 uA 束流能量：0-3keV  束流尺寸;直徑范圍5至25mm 束流均勻度：<5% 氣體輸入：經(jīng)過泄漏閥氣體直接輸入至離子源 安裝法蘭：23/4英寸（70mm）O.D.CF法蘭   樣品傳遞操作 樣品尺寸：尺寸從10mm-20mm 樣品置入：?jiǎn)蝹€(gè)樣品置入 樣品傳輸：線型磁動(dòng)樣品傳輸臂   真空系統(tǒng) 腔體：100mm焊接超高真空腔體（304不銹鋼） 真空泵：60L/sec離子泵和50l/sec的分子泵，配備匹配的前級(jí)泵 真空規(guī)：寬量程真空規(guī)   真空兼容：超高真空材料 烘烤：真空下可烘烤至250度 -