電子探針是一種利用電子束作用樣品后產生的特征X射線進行微區成分分析的儀器,[1]可以用來分析薄片中礦物微區的化學組成。除H、He、Li、Be等幾個較輕元素外,還有U元素以后的元素以外都可進行定性和定量分析。電子探針的大批量是利用經過加速和聚焦的極窄的電子束為探針,激發試樣中某一微小區域,使其發出特征X射線,測定該X射線的波長和強度,即可對該微區的元素作定性或定量分析。中文名電子探針外文名ElectronMicroprobe別稱微區X射線光譜分析儀1電子探針簡介電子探針顯微分析原理及其發展的初期是建立在X射線光
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