產品參數:
可定制不同規格的腔體,包括圓形(水平);圓形(垂直),方形
可定制不同形狀處理電極(陰極和陽極),包括垂直和水平的樣品擺放方式
可定制不同材質的腔體,316不銹鋼或者6061鋁合金腔體
(我們堅持使用316不銹鋼和6061鋁合金材質,在保證腔體整體加工質量同時,也保證氣體和射頻發生器在真空狀態工作時產生的等離子體的濃度和腔體提供保障)
樣品溫度控制
其他功能
應用領域:
污染物清洗
清洗玻璃、金屬、陶瓷、塑料等材料表面的有機物及其他污染物
表面活化
利用等離子體轟擊樣品表面,改變樣品表面張力和活性
鍍膜
采用等離子斷鍵功能的裝置,將鍍膜材料以納米級厚度均勻覆蓋樣品表面
等離子體刻蝕
對半導體材料、集成電路板、PCB板、塑料制品等材料進行刻蝕
等離子體反應
特別的工藝手段和裝置,可以實現等離子體與樣品的化學反應,并得到相應物質
粉體處理
粉體裝置,可實現納米級顆粒的等離子體均勻處理,實現各項性能