伯東 KRI 雙離子源輔助離子束濺射技術獲取高反射吸收Ta₂O₅薄膜

為了獲取高性能紫外激光薄膜元件, 急需研制紫外高吸收薄膜, 某研究所采用伯東 KRI 雙離子源輔助離子束濺射沉積技術鍍制 Ta₂O₅ 薄膜進行研究.

其系統工作示意圖如下：

該研究所的離子束濺射鍍膜組成系統主要由濺射室、雙離子源、濺射靶、基片臺等部分組成.

其中雙離子源中的一個離子源適用于濺射靶材, 另個離子源是用于基材的預清洗.

用于濺射的離子源采用伯東的 KRI 聚焦型射頻離子源 380, 其參數如下:

伯東 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 技術參數：

推薦理由：

聚焦型濺射離子源一方面可以增加束流密度, 提高濺射率; 另一方面減小離子束的散射面積, 減少散射的離子濺射在靶材以外的地方引起污染

用于預清洗的離子源是采用伯東 KRI 霍爾離子源 Gridless eH 3000

KRI 霍爾離子源 Gridless eH 3000 技術參數:

其濺射室需要沉積前本底真空抽到 1×10^-5Pa, 經推薦采用伯東分子泵組  Hicube 80 Pro, 其技術參數如下：

運行結果：

伯東 KRI 雙離子源輔助離子束濺射技術可以制備不同吸收率的355nm高反射吸收 Ta₂O₅ 薄膜.

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口品牌的代理商.