setra西特730系列真空電容式壓力傳感器

setra西特730系列真空電容式壓力傳感器

Setra 的 730 型是一款高精度的電容式壓力計（亦稱電容
式膜片真空計 (CDG)），適合在光伏、半導體和工業市場
中測量對過程控制至關重要的低真空范圍。該產品讀數精
度達 ±0.5%，分辨率高，優于同類產品。 730 型使用全
InconelTM 接液材料，可承受半導體加工過程中的腐蝕性介
質。由于采用直接測量設計，它能精確測量介質，不受應
用中氣體混合物成分的影響。應用·半導體處理室·石化·等離子體滅菌器·真空包裝，領域，

友情提示：

用戶再定貨前需要注明蕞終用戶和購買之前要經過美國方面審批從才可以訂貨，如填寫虛假用戶一切責任由用戶承擔。此產品和西特的760，761，141產品受到嚴格管制，建議客戶一次購買時多買一個做備件，此產品審批時間和訂貨周期都要比一般的西特的壓力產品長很多。

特性
·高精度：±0.5% 讀數
·張緊的膜片保證優異的性能
·工作溫度補償范圍寬
·回路噪聲低，響應快
·不易受環境條件變化影響
·出色的抗過壓設計
·符合 CE 和 RoHS 規范
應用
·半導體處理室
·石化
·等離子體滅菌器
·真空包裝
■ 耐化學品的 InconelTM 設計
■ 精確的低真空測量
■ 壓力接頭適合苛刻應用的高性能產品
采用單膜片可變電容感應元件，適用于苛刻的半導體和工
業真空應用。它具有讀數精度和分辨率高、動態范圍寬的
特點，使之成為關鍵制造過程中的理想選擇。
Inconel® 設計保證通用性
所有接液部件均采用 Inconel TM 材料，因此對半導體
和工業真空過程中的腐蝕性介質具有*的耐受性。
Inconel TM 材 料 結 合 全 焊 接 結 構， 確 保 730 型 在 這 類
應用中的長使用壽命。
直接壓力測量
內置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業
電容式壓力計不同， 730 型測量直接壓力，不受被測
混合氣的影響，這使其精度優于間接測量型壓力計。

技術規格：
電壓輸出
電路3線
激勵14-30VDC;9-30VDC
輸出0-10VDC**;0-5VDC**
輸出阻抗<1Ω
功耗<200mW
CE認證89/336/EEC重工業標準
MODEL720的環境參數
工作溫度-20～+80℃(-4～+176℉)
存儲溫度-40～+125℃(-40～+257℉)
沖擊50g
MODEL730的溫度影響
補償范圍0～+50℃(+32～+122℉)
零點漂移±0.005%FS/℃(±0.01%FS/℉)
量程漂移±0.027%RDG/℃
物理參數
殼體不銹鋼
電氣連接9針D型插座
壓力連接見訂購指南
接液部件InconelRRRRR
壓力介質與InconelRRRRR相容的液體或氣體.InconelRRRRR接液部分僅配0.5″管的壓力接頭.選擇其它的壓力接頭需要加不銹鋼.
重量(約)137克
腔體體積<6.2立方厘米
MODEL730的性能參數
精度±0.5%FSBBBBBBBBBB±0.25%FS(可選)
響應時間20ms
*穩定性±0.5%FS/年
分辨率無限,僅受輸出噪聲的限制(0.01%FS)