一、儀器用途TM-320多用途精密測量顯微鏡
TM-320多用途精密測量顯微鏡可用于半導體工業、硅片制造業、電子信息產業、精密機械加工、橡塑材料等領域的精密測量,也可作為高級金相顯微鏡用于金相材料觀察和分析。儀器自帶偏光裝置兼具高級偏光顯微鏡功能,適合于工廠、研究所、大專院校等用于產品檢測、觀察和分析。TM-320測量顯微鏡符合人機工程學要求的設計,使您在工作中感到舒適和放松。
二、TM-320測量顯微鏡規格
(一)測量范圍: X: 300mm; Y: 200mm
(二)數顯分辨率: 0.0005mm
(三)工作臺尺寸: 500×350mm(玻璃臺面尺寸:356×262mm)
(四)儀器測量準確度:≤(3+L/75)um (L為被測長度)
(五)儀器的質量: 100kg
(六)儀器外形尺寸: 560×820×670mm
(七)輸入電壓: AC220/50Hz ±10%
(八)光學基本參數
物鏡 | 目鏡 | 總放大倍數 | 工作距離(mm) | 視場直徑(mm) | ||
放大倍數 數值孔徑 | 分辨 率(μm) | 放大 倍數 | 視場(mm) | |||
5×/0.15 | 2.24 | 10× | 25 | 50× | 44 | 5 |
10×/0.3 | 1.12 | 100× | 34 | 2.5 | ||
20×/0.35 | 0.96 | 10× | 20(帶0.1mm 十字分劃板) | 200× | 30 | 1.25 |
50×/0.5 | 0.67 | 500× | 17 | 0.5 |
1、光學系統:無限遠光學系統,鏡筒透鏡f=200mm
2、觀察鏡筒:正像,人性化三目,觀察角度0°~45°可調
3、物鏡:95mm平場無限遠長工作距離復消色差物鏡M Plan Apo
4、物鏡轉換器:大四孔物鏡轉換器
5、偏光裝置:檢偏鏡可360°轉動。起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路
(九)照明光源
1.反射照明: 柯勒照明(帶孔徑光欄和視場光欄)
鹵素燈12V50W,光強度連續可調
2.透射照明: 遠心照明,鹵素燈12V50W,光強度連續可調
3.斜射照明: 12V,50W (雙鹵鎢燈、光強度連續可調)(選購件)
(十)CCD接口
采用標準C接口、可連接CCD和數碼相機進行影像測量。