高純過濾器
- 滿足SEMI E49.8-96嚴格的超高純氣體系統的過濾要求（SCF系列）。
- 具有直通、全焊接結構（FW系列）。
全焊接直通型過濾器（FW系列）
規格
| 工作壓力 | 達到6000 psig (413 bar) |
| 壓差 | 達到600psi (41.3 bar) |
| 溫度 | –20到900℉（–28到482℃） |
| 殼體材料 | 316不銹鋼 |
| 濾芯 | |
| 材料 | 316L不銹鋼燒結式或不銹鋼折疊網式 |
| 標稱孔徑 | 0.5到15µm |
| 端接 | |
| 類型 | 世偉洛克卡套管接頭、NPT、VCR®面密封接頭 |
| 尺寸 | 1/4 in.; 6 mm |
超高純（UHP）氣體過濾器（SCF系列）
規格
| 工作壓力 | 達到3000 psig (206 bar) |
| 壓差 | 達到145 psi (10 bar) |
| 溫度 | 達到122°F (50°C) |
| 大流量 | 2700 std L/min |
| 殼體材料 | 316L VAR 不銹鋼 |
| 內表面處理 | 電拋光, 5 µin (0.13 µm) Ra |
| 濾芯 | |
| 材料 | 高純氧化鋁 |
| 過濾等級 | > 99.999999 % at 0.003 µm |
| 端接 | |
| 類型 | VCR 面密封接頭 |
| 尺寸 | 1/4, 1/2, 和3/4 in. |
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