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掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900

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  • 更新時間2021-01-05
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集優(yōu)異性能、操作簡便性、多樣化功能于一身日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴展性,結合眾多的自動化功能,可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標配多功能超大樣品倉,可應對大型樣品的觀察。
掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900 產品詳情

掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900

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掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900

集優(yōu)異性能、操作簡便性、多樣化功能于一身

日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴展性,結合眾多的自動化功能,可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標配多功能超大樣品倉,可應對大型樣品的觀察。

  • 特點

  • ①多功能超大樣品倉

  • ②各種自動化功能

  • ③測試需求的應用解決方案,探測器

  • ④觀察分子案例

  • ⑤應用圖例

  • 規(guī)格

特點

特徴

①SU3900標配多功能超大樣品倉,可應對大型樣品的觀察

■樣品臺可搭載超大/超重樣品

  • 通過更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設備或樣品
  • 選配樣品交換倉,可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品,大大提高了工作效率
  • 具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*
  • 紅外CCD探測器,提高了樣品臺移動的安全性

■支持全視野移動。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察

  • 與GUI聯(lián)合,可配備樣品倉室導航相機
  • 覆蓋整個可觀察區(qū)域
  • 支持360度旋轉

②隨著各種自動化功能的強化,操作性能得到了進一步優(yōu)化。

■一個鼠標就能夠輕松操作的簡約GUI

■各種自動化功能

  • 自動調整算法經(jīng)改良后,等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
  • 提高了自動聚焦精度
  • 搭載Intelligent Filament Technology(IFT)

■Multi Zigzag,可實現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察

■Report Creator,可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報告

③可提供滿足測試需求的應用解決方案

■可滿足多種觀察需求的探測器

  • 搭載高靈敏度UVD*,支持CL觀察
  • 高靈敏度半導體式背散射電子探測器,切換成分/凹凸等多種圖像

■配備了多功能超大樣品倉,可以搭載多種配件

>■SEM/EDS一體化功能*

■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*

■支持圖像測量軟件Image pro

*配件

①多功能超大樣品倉

①標配多功能超大樣品倉,支持大型樣品分析

■樣品臺可搭載超大/超重樣品

  • 通過更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設備或樣品
    GUI上顯示更換樣品的操作步驟。可以避免因人為的誤操作而導致樣品污染或損壞。即使是難以檢測高度的凹凸不平的樣品或者是超大樣品,也能夠輕松更換。
  • 樣品交換倉*
    選配樣品交換倉,可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品,大大提高了工作效率
  • 具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*
    SU3800 / SU3900配置了樣品臺自由模式,開放了樣品臺移動的自由度。操作人員可自行判斷,自由移動樣品臺。
    ※選擇樣品臺自由模式時,請同時選配紅外CCD探測器。
  • 紅外CCD探測器*,提高了樣品臺移動的安全性
    紅外CCD探測器是用于監(jiān)控樣品倉內部的裝置。通過使用紅外線攝像機,可以在觀察SEM圖像的同時監(jiān)視樣品倉內部情況。為了獲得更詳細的位置,放大CCD圖像,并且移動觀察位置。

*配件

■支持全視野移動,SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察

  • 與GUI聯(lián)合,可配備樣品倉室導航相機
    與GUI聯(lián)合的SEM MAP,正是因為采用了樣品倉室導航相機,才得以實現(xiàn)廣角相機導航功能*。在SEM MAP上觀察目標位置,可以順利地移動到任意位置上。使用大視野相機導航系統(tǒng)拍攝的圖像或外部圖像,通過自由放大或縮小圖像,可以將大視野的彩色圖像切換到高倍率的SEM圖像。

    *配件
  • 覆蓋整個可觀察區(qū)域
    相機導航系統(tǒng)通過圖像拼接功能可以實現(xiàn)大視野的SEM MAP觀察。觀察區(qū)域為直徑130mm(SU3800)/ 直徑200mm(SU3900),并且可以與樣品臺R一起聯(lián)動,移動到大型樣品的大觀察區(qū)域。
  • 支持360度旋轉
    SEM MAP操作界面可直觀的顯示樣品與探測器的位置關系,因此在觀察高度差大的樣品時,可根據(jù)需求旋轉樣品臺或電子束來獲得的觀察分析位置,避免陰影效應造成的影響。

②各種自動化功能

②隨著各種自動化功能的強化,操作性能得到了進一步優(yōu)化。

■一個鼠標就能夠輕松操作的簡約GUI

搭載了簡約UI,簡單操作,如同觸屏般直觀。

  • 從移動樣品臺到樣品觀察,輕輕點擊鼠標即可實現(xiàn)
  • 也可觸屏操作
  • 主窗口為1280x960像素的大窗口
  • 可以切換顯示模式,并且同時顯示/拍攝兩種不同的信號

■各種自動化功能

  • 自動調整算法經(jīng)改良后,等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
    樣品安裝完成后,通過自動光路調整及各種自動功能調整圖像,隨后可立即獲得樣品圖像。高度自動化功能采用全新設計的演算程序,在執(zhí)行圖像自動調整功能時,等待時間縮短到以往的1/ 3以下。
  • 采用了新的算法,提高了自動聚焦精度
     全新升級的自動聚焦調整功能,即使是以往難以調整的光滑樣品,也能夠輕松得到良好的圖像。
  • 搭載Intelligent Filament Technology(IFT)
    自動監(jiān)視燈絲的狀態(tài),自動控制使其一直處于性能的狀態(tài)。
    搭載顯示燈絲更換時間的顯示屏。
    通過該功能,使得原來難以對應的長時間連續(xù)觀察以及數(shù)據(jù)分析等大范圍分析均可以安心實現(xiàn)。

■Multi Zigzag*,可實現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察

Multi Zigzag可以自動獲取連續(xù)的視野。可以在不同的視野中拍攝多張高倍率圖像,并使用Viewer功能拼接拍攝的圖像,創(chuàng)建大視野圖像。

*配件

  • Report Creator,可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報告
    在Report Creator中,可以將SEM圖像,EDS數(shù)據(jù)和CCD相機圖像等采集的圖像統(tǒng)一整合,生成報告。創(chuàng)建的報告可保存為Microsoft Office®格式。保存的文件可通過Microsoft Office®進行編輯。

③測試需求的應用解決方案,探測器

③可提供滿足測試需求的應用解決方案

■可滿足多種觀察需求的探測器

  • 搭載高靈敏度UVD*,支持CL觀察
    SU3800 / SU3900配備了高靈敏度低真空探測器UVD。除了樣品表面的凹凸圖像之外,還可以通過檢測電子束照射樣品而產生的陰極熒光,來獲取CL信息。
  • 高靈敏度半導體式背散射電子探測器,切換成分/凹凸等多種圖像。

通過采用4分割+1單元的設計,對每個單元進行計算,無需傾斜樣品,即可獲得成分圖像、3D圖像以及4方向凹凸圖像。由于探測器的設計十分精巧,且靈敏度高,實現(xiàn)了高分辨率和高信噪比。

■配備了多功能超大樣品倉,可以搭載多種配件

  SU3900標配多功能超大樣品倉,可應對大型樣品的觀察。

■SEM/EDS一體化功能*

SU3800/SU3900全新研發(fā)的SEM/EDS一體化功能,通過SEM操作界面即可完成測試位置確定、條件設置、樣品分析以及生成報告等一系列操作。通過SEM的全面控制,可以提高測試效率,減輕了操作人員的負擔。

■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*

Hitachi Map 3D可對SU3800/SU3900的5分割背散射電子探測器當中的4個不同方向的SEM信號進行演算分析,生成三維圖像。支持2點間高度、體積和簡易表面粗糙度(面粗糙度、線粗糙度)測量。可一次性接收四個不同方向的信號,因此,無需傾斜樣品臺或合成圖像。

■支持圖像測量軟件Image pro

SU3800 / SU3900搭載了IPI,可以將SEM圖像傳輸?shù)接擅绹鳰edia Cybernetics公司開發(fā)的圖像處理軟件Image Pro。只需單擊一下,即可將數(shù)據(jù)從SEM傳輸?shù)綀D像測量軟件。

④觀察分子案例

礦物的觀察分析案列

顯示了鋯石晶體在相同視野下的觀察結果。在BSE圖像中很難看清鉻濃度的緩和偏差。但是,在CL圖像中可以確認到暗 色區(qū)域是對應于錯濃度較高的區(qū)域。

⑤應用圖例

應用圖例

金屬材料

陶瓷材料

電子零件

生物/醫(yī)藥品

規(guī)格

ITEMSU3800SU3900
二級電子分解能3.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式)
15.0nm(加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式)
背散射電子分解能4.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式)
倍率×5~×300,000(照片倍率*1)
×7~×800,000(實際顯示倍率*2)
加速電壓0.3kV~30kV
低真空度設定6~650 Pa
圖像位移±50µm(WD=10mm)
大樣品尺寸200mm直徑300mm直徑
樣品臺X0~100mm0~150mm
Y0~50mm0~150mm
Z5~65mm5~85mm
R360°連續(xù)
T-20°~+90°
大可觀察范圍130mm直徑(R并用)200mm直徑(R并用)
大可觀察高度80mm(WD=10mm)130mm(WD=10mm)
電機驅動5軸電機驅動
電子光學系統(tǒng)電子槍中心操控式鎢絲發(fā)射
物像鏡頭光圈4孔可動光圈
檢測系統(tǒng)二級電子檢測器、高靈敏半導體背散射電子檢測器
EDX分析WDWD=10mm(T.O.A=35°)
圖像顯示自動光軸調整功能自動光束調整(AFS→ABA→AFC→ABCC)
自動光軸調整(實時級別對齊)
自動調整光束亮度
自動圖像調整功能自動亮度和對比度控制(ABCC)
自動對焦控制(AFC)
自動標記和焦點功能(ASF)
自動燈絲飽和度調整(AFS)
自動光束對準(ABA)
自動啟動(HV-ON→ABCC→AFC)
操作輔助功能光機旋轉、動態(tài)聚焦、圖像質量改善功能、數(shù)據(jù)輸入(點對點測量、角度測量、文本)、預設放大、樣品臺位置導航功能(SEM MAP)、光束標記功能
配件■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機、高靈敏度操作低空探測器(UVD)、紅外CCD探測器、攝像機導航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動限制解除功能、EDS集成
配件(外部裝置)能量散射X射線分析儀(EDS)、波長色散X射線分析儀(WDS)、
各種外部功能臺(加熱臺、冷卻臺、牽引臺)

* 1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm(4x5照片尺寸)的顯示尺寸。

* 2.放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm(1,920 x 1,080像素)的顯示尺寸。

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  • 臺式電子顯微鏡
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