AX10FD氣體流量計 微小氣體質量流量計 醫藥專用流量計
工作原理
AX10FD 系列氣體質量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司*的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金 RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在 316 不銹鋼包裝殼內。
用途與特點
質量流量控制器  (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、是有工業、醫藥、***和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
主要技術指標
量程范圍  （20,30,50,100,200,300,500）SCCM    （0~1,2,3,5,10）SLM
準確度   +1.5%F.S
線性  +0.5~1.5%F.S
重復精度 +0.2%F.S
響應時間  10sec      氣特性：（1~4）sec
工作壓差 0.1~0.5MPa
耐壓 3Mpa  6Mpa  10Mpa
工作環境溫度 0~70℃
數字量 RS485  MODBUS 協議
模擬量 DC 0~5V ，4~20mA 可選
電特性：SLM
供電 DC +15V/24V 可選，流量計＜50mA，控制器＜200mA
電氣連接 DB15
漏率 1×10  SCCSHe
底座材質 316L 不銹鋼
密封材質   氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
氣路接頭  Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
注意:  質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣(N₂)標定.
質量流量的單位規定為:SCCM(標準毫升/分);SLM(標準升/分)
微小氣體質量流量計 AX10FD氣體流量計 微小流量計