熱式氣體質量流量計 智能質量流量計 小體積流量控制器
用途與特點
質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、是有工業、醫藥、***和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
主要技術指標
量程范圍 （20,30,50,100,200,300,500）SCCM （0~1,2,3,5,10）SLM
準確度 +1.5%F.S
線性 +0.5~1.5%F.S
重復精度 +0.2%F.S
響應時間 10sec 氣特性：（1~4）sec
工作壓差 0.1~0.5MPa
耐壓 3Mpa 6Mpa 10Mpa
工作環境溫度 0~70℃
數字量 RS485 MODBUS 協議
模擬量 DC 0~5V ，4~20mA 可選
電特性：SLM
供電 DC +15V/24V 可選，流量計＜50mA，控制器＜200mA
電氣連接 DB15
漏率 1×10 SCCSHe
底座材質 316L 不銹鋼
密封材質 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
氣路接頭 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
注意: 質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣(N₂)標定.
質量流量的單位規定為:SCCM(標準毫升/分);SLM(標準升/分)
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