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石墨盤專用真空烤盤爐 電爐

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2023-06-02
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 所在地區(qū)合肥市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量111
  • 人氣值1326
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合肥真萍電子科技有限公司是專業(yè)的從事環(huán)境與可靠性試驗(yàn)設(shè)備及實(shí)驗(yàn) 室儀器,防潮防氧化專業(yè)設(shè)備,烘烤制程設(shè)備等產(chǎn)品專業(yè)供應(yīng)商,由一批多年從事環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、防潮防氧化設(shè)備行業(yè)的專業(yè)工程技術(shù)人員為核心,具有設(shè)計(jì)、制造、銷售及售后服務(wù)能力的綜合性企業(yè)。
  

公司主要生產(chǎn)和經(jīng)營:
  環(huán)境與可靠性試驗(yàn)設(shè)備:高低溫試驗(yàn)箱,恒溫恒濕箱,老化箱,快溫變化箱,                         霉菌試驗(yàn)箱,鹽霧腐蝕試驗(yàn)箱;

  防潮防氧化專業(yè)設(shè)備:防潮箱、氮?dú)夤瘛崈舻獨(dú)夤瘛⒑銣睾銤窆瘛⒀鯘舛瓤刂?/p>

                       柜、真空柜、環(huán)境溫濕度監(jiān)控;PP/PVC氮?dú)夤?

    烘烤制程設(shè)備:HMDS涂膠烤箱、紅外/熱風(fēng)烘箱、電腦光刻固化無氧烤箱、充氮

                 烤箱、電腦式真空干燥箱、可編程潔凈多腔體烘箱、隧道烘箱、

                 電腦無氧烤箱、高溫烤箱、等服務(wù)。
  

    本公司自成立之初,一直秉承客戶*的服務(wù)理念,滿足客戶持續(xù)增長的需求,不斷為客戶提供品質(zhì)優(yōu)良、價(jià)格合理的產(chǎn)品,降低客戶的生產(chǎn)成本,提高客戶的競爭力,為客戶創(chuàng)造價(jià)值
  

    在廣大客戶的支持下,本公司的業(yè)務(wù)蒸蒸日上,在航空、航天、電子、光電、半導(dǎo)體、*、郵電、石油化工、制藥、醫(yī)療、生物工程、高等院校、科研單位等領(lǐng)域取得了良好的業(yè)績,已得到廣大客戶的認(rèn)同和稱贊。目前服務(wù)的客戶遍布沿海各省。
  

   我們將努力為客戶提供一站式服務(wù)和全面的解決方案。*解決客戶的后顧之優(yōu),讓您安心的生產(chǎn),將麻煩留給我們。您選擇真萍科技就是選擇放心!
 

   主要服務(wù)客戶:臺(tái)積電、中芯、德州儀器、長電、BYD、 IPEC 、華東科技、蘇州晶方、合晶硅、 富士通、寧波芯健、松下、 三星、 立立電子、 中環(huán) 、萬向 、尚德電力 、華潤上華、華潤華晶、 *公司第8、12、15、21、41、43、58所、諾基亞 、西門子、富士康、英順達(dá)、廣達(dá)、龍騰光電、INTEL、京東方、三安光電、同方、德豪潤達(dá)、福州兆元、西安聯(lián)合、西安神光、 江淮、 奇瑞、 博物館、中科院化學(xué)所、中科院物理所 、中科院光電所 等各院所 * 各地方重點(diǎn)大學(xué)等等.

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產(chǎn)品介紹:真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)
石墨盤專用真空烤盤爐 電爐 產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品介紹:真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達(dá)到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。


技術(shù)參數(shù):

使用溫度

1450℃

溫度

1500℃

絕熱材料

石墨纖維毯、石墨紙

馬弗材料

SUS304

加熱元件

石墨加熱棒

冷卻方式

氣冷+循環(huán)風(fēng)冷降溫

控溫穩(wěn)定度

±2℃,具有PID參數(shù)自整定功能

爐膛溫度均勻度

±5℃(恒溫1550℃)

控溫?zé)崤?/span>

Wre5

升溫速率

15℃/min(空載)

控溫點(diǎn)數(shù)

1點(diǎn)

降溫速率

1450℃至80℃,240分鐘

監(jiān)測(cè)點(diǎn)數(shù)

1點(diǎn)

極限真空

10-3torr級(jí)

氣氛

可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮?dú)猓兌权R99.999%

抽氣速率

空載下,30min達(dá)到10-2torr

報(bào)警保護(hù)

超溫、斷偶、停氣等聲光報(bào)警保護(hù)

設(shè)備顏色

電腦駝灰色

電源

容量大于160KVA,3相5線,220/380VAC,50Hz

參考型號(hào)

MOLKP-518W710×H710×D1000mm)

MOLKP-1000(W1000×H1000×D1000mm)

MOLKP-1200(W1000×H1000×D1200mm)




*技術(shù)細(xì)節(jié)變動(dòng)之處,恕不另行通知,具體設(shè)備參數(shù)以咨詢結(jié)果為準(zhǔn)。

 真萍科技作為專業(yè)的熱處理設(shè)備制造廠商,可根據(jù)客戶工藝需求定制您需要的滿意產(chǎn)品,有需求的客戶

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