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自動管式爐 電爐

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  • 型號
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  • 所在地
  • 更新時間2023-06-04
  • 廠商性質生產廠家
  • 所在地區合肥市
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合肥真萍電子科技有限公司是專業的從事環境與可靠性試驗設備及實驗 室儀器,防潮防氧化專業設備,烘烤制程設備等產品專業供應商,由一批多年從事環境試驗設備、防潮防氧化設備行業的專業工程技術人員為核心,具有設計、制造、銷售及售后服務能力的綜合性企業。
  

公司主要生產和經營:
  環境與可靠性試驗設備:高低溫試驗箱,恒溫恒濕箱,老化箱,快溫變化箱,                         霉菌試驗箱,鹽霧腐蝕試驗箱;

  防潮防氧化專業設備:防潮箱、氮氣柜、潔凈氮氣柜、恒溫恒濕柜、氧濃度控制

                       柜、真空柜、環境溫濕度監控;PP/PVC氮氣柜;

    烘烤制程設備:HMDS涂膠烤箱、紅外/熱風烘箱、電腦光刻固化無氧烤箱、充氮

                 烤箱、電腦式真空干燥箱、可編程潔凈多腔體烘箱、隧道烘箱、

                 電腦無氧烤箱、高溫烤箱、等服務。
  

    本公司自成立之初,一直秉承客戶*的服務理念,滿足客戶持續增長的需求,不斷為客戶提供品質優良、價格合理的產品,降低客戶的生產成本,提高客戶的競爭力,為客戶創造價值
  

    在廣大客戶的支持下,本公司的業務蒸蒸日上,在航空、航天、電子、光電、半導體、*、郵電、石油化工、制藥、醫療、生物工程、高等院校、科研單位等領域取得了良好的業績,已得到廣大客戶的認同和稱贊。目前服務的客戶遍布沿海各省。
  

   我們將努力為客戶提供一站式服務和全面的解決方案。*解決客戶的后顧之優,讓您安心的生產,將麻煩留給我們。您選擇真萍科技就是選擇放心!
 

   主要服務客戶:臺積電、中芯、德州儀器、長電、BYD、 IPEC 、華東科技、蘇州晶方、合晶硅、 富士通、寧波芯健、松下、 三星、 立立電子、 中環 、萬向 、尚德電力 、華潤上華、華潤華晶、 *公司第8、12、15、21、41、43、58所、諾基亞 、西門子、富士康、英順達、廣達、龍騰光電、INTEL、京東方、三安光電、同方、德豪潤達、福州兆元、西安聯合、西安神光、 江淮、 奇瑞、 博物館、中科院化學所、中科院物理所 、中科院光電所 等各院所 * 各地方重點大學等等.

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一、設備名稱、型號:12寸晶圓自動管式爐二、系統組成2
自動管式爐 電爐 產品詳情

一、設備名稱、型號: 12寸晶圓自動管式爐


二、系統組成
2.1FAB上下料
 2個上下料口(并列)
 FOUP ID 識別
 Wafer位置識別
 操作啟動開關

2.2晶元輸送
2.2.1FBA開蓋
   FOUP固定,解鎖,取蓋
2.2.2晶元輸送機械手
   雙臂式傳輸
   高純度AL2O3托盤
   按規劃路徑將晶元從FOUP傳送至爐體裝  料腔中
2.2.3爐體開蓋
?將爐體裝料腔腔門打開

2.3爐體(熱處理)
2.3.1加熱腔
  外部采用不銹鋼外套,中部采用FEC加熱器和相應保溫材料,內部為石英爐管
  多層環形加熱器,有效使用高度 > 1000mm
  底部通入工藝氣氛,O2和N2可編程選擇
  煙氣冷凝回收
  底部具有自保護蓋體功能
  高溫焦油裂解功能
  降溫方式:鼓風機將空氣吹入爐管與加熱器之間的夾腔,強制風冷降溫。
  多路多層環形進氣,保證爐膛的冷卻可控
2.3.2裝料腔
石英支架,處理量為100PCS 12inch晶圓
升降采用移動式滑臺機構(無桿電缸),

2.4控制柜
2.4.1氣源箱
?對于空氣,O2,N2進行邏輯控制
?調節各路進氣的流量
2.4.2電源箱
?動力配電
?儀器儀表放置
?氧含量分析系統可選
2.5控制系統
?人機界面采用觸摸屏方式
?核心控制器采用嵌入式控制器
?超溫保護為獨立檢測器件
?具有氧含量檢測功能
?運動控制為伺服/步進控制單元
?傳輸為專業晶元傳輸機器人
?軟件具有功能:溫度控制,氣氛控制,工藝編輯,數據記錄,圖表顯示.

三、基本配置
3.1處理產品:12inch 晶圓
3.2處理量:90PCS/管,共180PCS
3.3加熱器:圓形FEC加熱板
3.4加熱區域:>1000mm
3.5外形尺寸:
    本體:2500×3500×3500(W×D×H)
    控制柜:800×600×2200(W×D×H)
3.6上料口:2
3.7機械手:1

四、技術指標
4.1長期使用溫度: 350℃,溫度上限:750℃;
4.2升溫速率:>30℃/min
4.3降溫速率:>5℃/min
4.4加熱功率:36kW(單爐);
4.5加熱溫區: 3個;
4.6爐溫均勻性: ±7℃(350℃恒溫);
4.7程序控制:P.I.D控制;
4.8溫度控制方式: SSR
4.9控溫熱偶: K分度;
4.10氣氛: N2/O2;
4.11爐膛材料:石英玻璃;
4.12保溫材料:陶瓷纖維;
4.13氣氛控制:多路流量計調節進氣,流量計量程為24~240L/min;
4.14排氣系統:在頂部設置排氣煙囪,用于廢氣排放,回收;
4.15設備重量:約2t;

*技術細節變動之處,恕不另行通知,具體設備參數以咨詢結果為準。


真萍科技作為專業的熱處理設備制造廠商,可根據客戶工藝需求定制您需要的滿意產品,有需求的客戶。

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