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  • 直驅線性平移臺-170mm/30kg 光學表面分析儀

FPSTA-8MTL1301-170 直驅線性平移臺-170mm/30kg 光學表面分析儀

參考價
面議
具體成交價以合同協議為準
  • 型號FPSTA-8MTL1301-170
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-11-12
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區
  • 實名認證已認證
  • 產品數量1482
  • 人氣值9973
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直驅線性平移臺-170mm/30kg 光學表面分析儀 產品詳情
這款直驅線性平移臺是高精度直接驅動平移臺,采用光學編碼器和3相無鐵線性無刷伺服電機技術,為用戶帶來零反沖高精度平移運動,具有*的平移精度高,重復精度高和摩擦低的特點。
直驅線性平移臺采用線性非接觸式光學編碼器作為反饋系統,使得位置控制高達亞納米級分辨率。
直驅線性平移臺采用自然老化鋁合金確保了平移臺高溫穩定性和輕巧性,以及優良的長周期運動,導軌系統不會發生漂移。
直驅線性平移臺可以用于潔凈空間環境或真空度10^-3Torr的真空環境,也可根據用戶要求提供高真空直驅平移臺。
直驅線性平移臺可以輕松地直接連接到光學平臺上,可直接安裝搭建成電動XY二維平移臺,無需使用任何連接板,也可按要求提供垂直Z軸平移臺。
直驅線性平移臺還可以安裝到花崗巖龍門架或高精度平臺上實現高精度平移定位。

直驅線性平移臺特點
超低剖面超薄設計
分辨率高達1nm
直接驅動無返程系統
高分辨率非接觸式光學編碼器
高精度線性導向和運載系統
速度高達1200mm/s
超長使用壽命
方便集成到各種平臺或光學機械系統中
直驅線性平移臺規格
 行程范圍170mm
 編碼器類型光學編碼器
 編碼器型號LEn1
 編碼器分辨率
 編碼器接口 差分RS422
 放大系數4-200任選
 編碼器光柵周期,20um
參考標記 (Index)Yes
精度2)
  標定前±5µm
  標定后±1µm
 單向重復精度N/A
雙項重復精度(peak-peak)2)±0.15µm
雙項重復精度(RMS) 2)±0.10µm
 Pitch 3)±55 / ±11.34µrad/arcsec
 Yaw 3)±55 / ±11.34µrad / arcsec
 RollN/A
 速度 (負載4Kg) 4)<2000mm/s
 加速度 ((負載4kg) 5)<20000mm/s^2
安全限位開關 (Safety)Optical (Optrons)
安全限位開關極性Pushed is closed
 限位開關電壓5…24
負載導向信息
類型線性電機平移臺
電機類型LM3
電機設計類型無鐵BLDC Motors
Bus Voltage>300VDC
負載 (中心放置) 6)
  水平30kg
 運動質量 7)2.2kg
 導向系統循環直線軌道和載物滑塊單元
材料和外殼信息
 外部材料鋁合金
 外殼處理黑色陽極氧化
 環境壓力標準大氣壓
工作溫度20±2°C
控制器
 推薦控制器 8)ACS Products Line or 8SMC5-USB series
推薦驅動器  8)ACS Products Line or 8SMC5-USB series
 推薦電源 9)Request Standa support
 推薦通訊接口 12)EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP
 線纜長度2m
 差分輸出 10)On request
配件
 底板不需要
 XY二維平移臺系統搭建直接搭建,不需要安裝適配板
 Z軸豎直平移臺搭建可以
外形尺寸
 移動臺尺寸 (W x L)130 x 295mm
 外形尺寸 (W x L x H)130 x 345 x 40mm
 公制或英制公制 / 英制均可提供
 XY二維平移臺正交性 11)24/5 µrad/arcsec
 防護處理 13)基礎防護
 RoHS滿足
 重量4.1kg

1) 默認為x4轉PPR-脈沖數/每轉,模擬SIN/COS編碼器接口
2)精度和雙向重復定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測量計算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 電子自相關儀器測試,電子自相關儀11D-ALI-COL分辨率1µrad. 環境誤差1µrad.
4) 速度由編碼器限制和驅動器CUT-OF頻率以及導向系統限制.
5)加速度由驅動器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負載能力由導向系統決定.
7) 運動質量是系統常數m0,通常是沒有負載時的慣性。
8) 推薦的控制器和驅動器有助于發揮電動平移臺的性能.
9) 推薦的電源是根據用戶的占空比和負載來選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動或被動LCMv2接口.
11) 可組成正交性能更好的XY二維電動位移臺系統.
12) 標量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。
13) 平移臺包括特殊封蓋,可用于灰塵嚴重或濕度較大的環境。

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