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分光干涉式晶圓膜厚儀 SF-3

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具體成交價以合同協議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2021-08-19
  • 廠商性質生產廠家
  • 所在地區蘇州市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量25
  • 人氣值634
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大塚電子(蘇州)有限公司主要銷售用于光學特性評價?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產業以及液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示產業以及其相 關材料的光學特性評價?檢查。

  以高速?高精度?高可靠性且有市場實際應用的分光器MCPD系列為基礎, 在中國的顯示器 市場上有著20年以上銷售實例, 為許多廠家在研究開發、生產部門所使用。并且在光源?照明 相關方面,對各個廠家的銷售量在逐步擴大。

  在中國的蘇州有設立售后服務點,為了能迅速且周到的為顧客服務而努力。

  我公司的母公司日本大塚電子集團,隸屬于大冢集團, 一直以來都謹守大冢集團 的企業理念「Otsuka-people creating new products for better health world wide」(大冢 為人類的健康創造革新的產品), 為社會作出貢獻。

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分光干涉式晶圓膜厚儀 SF-3 產品詳情

即時檢測
WAFER基板于研磨制程中的膜厚
玻璃基板于減薄制程中的厚度變化
(強酸環境中)

 

產品特色

非接觸式、非破壞性光學式膜厚檢測
采用分光干涉法實現高度檢測再現性
可進行高速的即時研磨檢測
可穿越保護膜、觀景窗等中間層的檢測
可對應長工作距離、且容易安裝于產線或者設備中
體積小、省空間、設備安裝簡易
可對應線上檢測的外部信號觸發需求
采用膜厚檢測的獨自解析演算法。(已取得)
可自動進行膜厚分布制圖(選配項目)

規格式樣

 

SF-3

膜厚測量范圍

0.1 μm ~ 1600 μm※1

膜厚精度

±0.1% 以下

重復精度

0.001% 以下

測量時間

10msec 以下

測量光源

半導體光源

測量口徑

Φ27μm※2

WD

3 mm ~ 200 mm

測量時間

10msec 以下

※1 隨光譜儀種類不同,厚度測量范圍不同
※2 最小Φ6μm

關鍵詞:光譜儀
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