LASAIR II 110 粒子計數器
Lasair® II-110是款1.0 CFM流量的激光二極管粒子計數器,能夠監測0.1µm粒子。這款計數器的功能非常全面,監測精準度*,性能穩定,使用成本低,使用壽命長,并帶有3年的激光部件保修。
好處
降低缺陷率
實時監測導致制程缺陷的粒子變化
使用移動式計數器定位粒子污染源
排除多管采樣的常見漏計錯誤
附件配備齊全,適用于多種應用
0.1µm粒子監測效率高于傳統設備
提高生產效率
存儲/導出采樣方案,節省潔凈室認證時間
通過辦公室電腦和網絡瀏覽器控制潔凈室監測:設置、采樣、顯示、打印、下載數據、上傳采樣方案等
噪音極小,有利于改善工作環境
可選擇9種語言顯示和打印
符合ISO、FS或英國標準的計算統計和報告
同Facility Net軟件整合,用于全面數據管理
高速下載數據至Excel、PDA或USB存儲器
成本低
使用同一臺粒子計數器進行ISO Class 1 - 9應用
無需頻繁清洗激光部件
泵的使用壽命長,無需每年更換葉片
容易清洗擦拭,設計有利于將粒子截留減至最少
符合ESA/ESD標準的KYDEX®機殼,非常結實,抗化學腐蝕。
低溫激光二級管使用壽命更長;激光部件保修3年
應用
潔凈室監測
高靈敏度應用
滿足ISO、FS或英國標準的設施認證
微環境認證
故障診斷/移動式應用
多管采樣(使用AM II型多點采樣設備)
監測高壓氣體(使用高壓擴散器)
超潔凈區監測(ISO 1-2)
選擇氣體懸浮物粒子監測儀 (360.5 KB)
粒子監測基本指導 (8.4 MB)
獲得2005年度 Semiconductor International Editor's Choice Award 獎項。
本款粒子計數器經CE認證