一、光切法顯微鏡 9J
1.本儀器在原有的基礎(chǔ)上進(jìn)行了光學(xué)系統(tǒng)升級，明場成像更清晰，避免看不清測量讀數(shù)刻線。
2.配備粗微動同軸調(diào)焦系統(tǒng)，粗動松緊可調(diào)，微動格值:2μm，使之更加準(zhǔn)確的找到成像面。
3.一體化結(jié)構(gòu)機(jī)身，無需另配變壓電源，操作簡潔、方便。
4. 非接觸式測量，不會破壞樣品表面層，經(jīng)過計算后確定紋痕的不平度。
類 型 | 9J | |||
測量范圍不平度平均高度值（微米） | >0.8-1.6 | >1.6-6.3 | >6.3-20 | >20-80 |
表面光潔度（級別） | 9 | 8~7 | 6~5 | 4~3 |
所需物鏡 | 60X/0.55 | 30X/0.40 | 14 X/0.20 | 7X/0.12 |
總放大倍數(shù) | 510X | 260X | 120X | 60X |
物鏡組件工作距離（mm） | 0．04 | 0．2 | 2．5 | 9．5 |
視場（mm） | 0.3 | 0.6 | 1.3 | 2.5 |
攝影裝置放大倍數(shù) | 約6倍 | |||
測量不平度范圍 | （0.8-80）微米 | |||
不平寬度 | 用測微目鏡：0.7微米-2.5毫米 | |||
用座標(biāo)工作臺：（0.01-13）毫米 | ||||
儀器重量約 | 23公斤 | |||
外形尺寸（mm） | 約180*290*470毫米 | |||
二、成套性
1 | 儀器主體：1臺 | 6 | 7倍物鏡：1組 |
2 | 測微目鏡：1只 | 7 | 14倍物鏡：1組 |
3 | 座標(biāo)工作臺：1件 | 8 | 30倍物鏡：1組 |
4 | V型塊：1件 | 9 | 60倍物鏡：1組 |
5 | 標(biāo)準(zhǔn)刻尺(連盒) ：1件 |
