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安捷來的經營理念：高品質創造高價值，用高品質的產品和服務為客戶創造*大的科研及商業價值。安捷來勒一貫以“科技保證質量，服務完善產品”為宗旨，以廣泛深厚的國際關系、強大的營銷和售后服務力量、雄厚的技術實力，為優異科研領域提供歐美、日本等高性能的，在世界范圍內采取*新技術生產的10,000余種科研儀器設備及理想的研究、生產技術環境，其產品廣泛應用于電子、半導體、醫藥、化工、化妝品、涂料、石油、食品等行業及高校、檢驗檢疫局、商檢、藥檢、軍科院、中科院等科研機構。經過10年的經驗積累，安捷來勒能夠為客戶提供IT、半導體、醫藥、化工、食品等行業產品檢測及品質管理的整體實驗室解決方案和專業化服務。

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ULVAC有機膜蒸發實驗裝置ELORA-100(有機膜用)極限壓力8

ULVAC有機膜蒸發實驗裝置齒輪泵產品詳情

ULVAC有機膜蒸發實驗裝置

ELORA-100(有機膜用)

極限壓力	8.0 X10^-2(未使用液氨時)
真空室	供給連接系統預留16個接口+鐘罩
基板電極	4點式(2點切換+2點切換)
蒸發電源	DC10V-40A、400W?２式(數字表示)
膜厚監測器	水晶振動式膜厚控制器 CRTM-9000
真空泵	皮拉尼真空計GP-1S、電離真空計GI-TL3
排氣系統	渦輪分子泵 300L/s（UTM-300) 油旋片真空泵 200L/min（GLD-201A）
本體尺寸 (mm)	530?(長)×480(寬)×1180(高）
重量	80kg(主機)
電力	1φ 100V1.6kVA、 3φ 200V 1.2kVA
選購件	改變電極構成、溫度監測器(基板、蒸發盤)、改變真空計、擋板、改變排氣系統真空泵(渦旋型干泵、油擴散泵、低溫泵)、其它

ELORA-200(電極膜用)

極限壓力	4.0 X10^-4(未使用液氨時)
真空室	供給連接系統預留16個接口+鐘罩
基板電極	２點切換式
蒸發電源	AC10V-150A、1.5kW??。笔剑ǚ抡姹硎荆?/span>
膜厚監測器	水晶振動式膜厚控制器 CRTM-6000
真空泵	皮拉尼真空計GP-1S、電離真空計GI-TL3
排氣系統	渦輪分子泵 300L/s（UTM-300) 油旋片真空泵 200L/min（GLD-201A）
本體尺寸 (mm)	530?(長)×480(寬)×1180(高）
重量	80kg(主機)
電力	1φ 100V0.8kVA、 3φ 200V 1.2kVA、 1φ 200V 2.0kVA
選購件	改變電極構成、溫度監測器(基板、蒸發盤)、改變真空計、擋板、改變排氣系統真空泵(渦旋型干泵、油擴散泵、低溫泵)、其它

ELORA-500(蒸發室+準備室)

極限壓力	4.0 X10^-4(未使用液氨時)
真空室	真空室帶準備室的2室、帶水平傳送機構
基板電極	電阻加熱式蒸發源、標準8點(有機膜6點、金屬膜2點) T/S間距離、250-300mm
蒸發電源	有機膜用:DC400W、2個金屬膜用:AC1、5KW、1個
真空泵	蒸發室:電離真空計 GI-TL3、皮拉尼真空計GP-1S 準備室:渦旋型干式泵90L/min
排氣系統	蒸發室:TMP(600L/s)+渦旋型干式真空泵250L/min 準備室:渦旋型干式真空90L/min
本體尺寸 (mm)	1620(長)×650(寬)×1550(高） (控制盤)
重量	400kg(本體)、150Kg(控制盤)
電力	1φ 100V、3kVA、 3φ 200V 、3kVA、(50/60Hz)
特別規格	蒸發室(有機膜、金屬膜分分割):真空3室(蒸發室2室+準備室)、基板、蒸發盤的溫度測定器、追加基板收納器、氣體導入、真空排氣系統變更、可動面罩、其它

關鍵詞：真空泵標準

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