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公司介紹主營產品

安捷來的經營理念：高品質創造高價值，用高品質的產品和服務為客戶創造*大的科研及商業價值。安捷來勒一貫以“科技保證質量，服務完善產品”為宗旨，以廣泛深厚的國際關系、強大的營銷和售后服務力量、雄厚的技術實力，為優異科研領域提供歐美、日本等高性能的，在世界范圍內采取*新技術生產的10,000余種科研儀器設備及理想的研究、生產技術環境，其產品廣泛應用于電子、半導體、醫藥、化工、化妝品、涂料、石油、食品等行業及高校、檢驗檢疫局、商檢、藥檢、軍科院、中科院等科研機構。經過10年的經驗積累，安捷來勒能夠為客戶提供IT、半導體、醫藥、化工、食品等行業產品檢測及品質管理的整體實驗室解決方案和專業化服務。

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產品簡介在線詢價

ULVAC濺射裝置小型高頻濺射裝置結構小巧、價格低廉的試驗裝置RFS-200靶材尺寸80厚度1-5mm真空室200mm(長)250mm(寬)150mm(高）SUS?304制前面開門基板電極80Cu制加熱

ULVAC濺射裝置齒輪泵產品詳情

ULVAC濺射裝置

小型高頻濺射裝置

結構小巧、價格低廉的試驗裝置

RFS-200

靶材尺寸	φ80厚度1-5mm
真空室	200mm(長)×250mm(寬)×150mm(高） SUS?304制前面開門
基板電極	φ80Cu制加熱。冷卻式
靶電極	φ80Cu制冷卻
擋板	φ95厚度1mm手動操作
RF電源	200W×13.56MHz 帶與RF電源匹配的電路
基板加熱電源	管加熱器加熱自動溫調MAX350℃ 溫度指示計 (數字型)
排氣系統	F-250油擴散泵（240L/sec）油旋片真空泵G-100D（100L/min）主閥2。5英寸蝶閥水冷閥三向切換閥皮拉尼真空計(數字型２點式)
本體尺寸	800mm(長)×630mm(寬)×1450mm(高）
重量	200kg
電力	100V　1φ　1.3kVA
RF電力	100V　1φ　0.5kVA
冷卻水用量	0.2MPa　5L/min　25℃以下
選購件	液氨冷阱、磁控管、電離真空計、追加氣體導入、排氣口過濾器、基板加熱650C

性能

極限壓力		6.7X10^-4
排氣時間		10^-3Pa/5min
基板加熱溫度		MAX350℃
濺射壓力		10^-1PaAr氣體
靶材	導體半導體絕緣體	Al、Cu、Au、Cr等 Si、Ge、Se等 SiO₂、Al₂O₃ 等

*可選擇渦輪分子泵、渦選型干泵情聞訊。

小型磁控管濺射裝置

具備豐富機能、*適合各類基礎研究使用

SCOTT-C1

基板尺寸數量	φ4英寸（φ100mm）×t＝1mm、1個
有效成膜范圍	φ50mm
RF電源	Max300W（40?300W可變）
成膜速度	SiO₂成膜時、大于30nm/min
膜厚分布	SiO₂成膜時、50mm+-10%以內
真空室極限壓力	6.6X10^-4
排氣時間	5分鐘內從大氣壓抽至6。6X10^-3Pa
基板加熱溫度	Max350℃(水冷)
基板電極間距離	60mm
外形尺寸	1120mm(長)×704mm(寬)×1262mm(高）
裝置重量	約500kg
消耗電量	1φ100V（50/60Hz）3.0kVA
消耗水量	約8L/min(水溫:25C以下、水壓:200Kpa)
蝕刻分布	用酸化膜磈片時、70mm+-10%以內
選購件	追加氣體導入、質量流量控制器、基板加熱600C (水冷)、DC電源

SCOTT-C3

基板尺寸數量	φ2英寸（φ50.8mm）×t＝1mm、1個
有效成膜范圍	φ25mm
RF電源	Max300W（40?300W可變）
成膜速度	SiO₂成膜時、大于30nm/min
膜厚分布	SiO₂成膜時、25mm+-10%以內
真空室極限壓力	6.6X10^-4
排氣時間	5分鐘內從大氣壓抽至6。6X10^-3Pa
基板加熱溫度	Max350℃(基板水冷機構:無)
基板動作	手動調節 3點指針旋轉 (約300度角)
基板電極間距離	50mm?90mm（可變：半固定）
外形尺寸	1100mm(長)×700mm(寬)×1070mm(高）
裝置重量	約400kg
消耗電量	1φ100V（50/60Hz）3.0kVA
消耗水量	2L/min(水溫:25C以下、水壓:200Kpa)
選購件	刻蝕機構 (洗凈)、追加氣體導入、質量流量控制器、基板加熱350C(水冷)600C無水冷、DC電源

SCOTT-C1

超小型離子濺射裝置

VPS-020

標準靶材	φ49Au1個 (鍍膜用) φ49 Al 1個1個 (刻蝕用)
試料臺	φ70(高度調節范圍15mm、20mm、60mm)
真空槽	φ120(深度120mm)不銹鋼制
油旋片泵	G-20DA型（20L/min）
高壓電源	1kV/0?20mA(帶電流計、內置安全電路)
鍍膜方式	AC/DC
刻蝕方式	AC/DC
時間	0?15min、連續可變
氣體調節機構	針閥
電源	100V１φ0.4kVA
重量	8.5kg
外形尺寸	160mm(長)×365mm(奧行)×317mm(高)
選購件	1．靶材 Pt-Pd、Ag其它 2．油霧過濾器(OMT-050A) *請根據用途挑選選購件

VPS-050

標準靶材	φ109Au1個 (鍍膜用) φ109 Al 1個1個 (刻蝕用)
試料臺	φ100(高度調節范圍15mm、20mm、60mm)
真空槽	φ240(深度120mm)不銹鋼制
油旋片泵	G-100D型（100L/min）　選購件
高壓電源	1kV/0?20mA(帶電流計、內置安全電路)
鍍膜方式	AC/DC
刻蝕方式	AC/DC
時間	0?15min、連續可變
氣體調節機構	針閥
電源	100V１φ0.5kVA
重量	20kg
外形尺寸	282mm(長)×485mm(奧行)×440mm(高)
選購件	1．靶材 AU、 Pt-Pd、Ag其它 2．油霧過濾器(OMT-050A) *請根據用途挑選選購件

VPS-020

關鍵詞：加熱器真空泵過濾器質量流量控制器流量控制器

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