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  • ULVAC濺射裝置 齒輪泵

RFS-200/SCOTT-C1/SCOTT-C3/VPS-020/VPS-050 ULVAC濺射裝置 齒輪泵

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  • 型號RFS-200/SCOTT-C1/SCO
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-12-16
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量1258
  • 人氣值4383
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ULVAC濺射裝置小型高頻濺射裝置結(jié)構(gòu)小巧、價格低廉的試驗裝置RFS-200靶材尺寸80厚度1-5mm真空室200mm(長)250mm(寬)150mm(高)SUS?304制前面開門基板電極80Cu制加熱
ULVAC濺射裝置 齒輪泵 產(chǎn)品詳情

ULVAC濺射裝置



小型高頻濺射裝置

結(jié)構(gòu)小巧、價格低廉的試驗裝置



RFS-200

靶材尺寸

φ80厚度1-5mm

真空室

200mm()×250mm()×150mm(高)
SUS
?304 前面開門

基板電極

φ80Cu 加熱。冷卻式

靶電極

φ80Cu 冷卻

擋板

φ95厚度1mm手動操作

RF電源

200W×13.56MHz 帶與RF電源匹配的電路

基板加熱電源

管加熱器加熱自動溫調(diào)MAX350℃
溫度指示計 (數(shù)字型)

排氣系統(tǒng)

F-250油擴散泵(240L/sec
油旋片真空泵G-100D100L/min
主閥25英寸蝶閥
水冷閥 三向切換閥 皮拉尼真空計(數(shù)字型2點式)

本體尺寸

800mm()×630mm()×1450mm(高)

重量

200kg

電力

100V  1.3kVA

RF電力

100V  0.5kVA

冷卻水用量

0.2MPa 5L/min 25℃以下

選購件

液氨冷阱、磁控管、電離真空計、追加氣體導入、排氣口過濾器、基板加熱650C



性能

極限壓力

6.7X10-4

排氣時間

10-3Pa/5min

基板加熱溫度

MAX350℃

濺射壓力

10-1PaAr氣體

靶材

導體
半導體
絕緣體

AlCuAuCr
Si
GeSe
SiO2
Al2O3 等 




*可選擇渦輪分子泵、渦選型干泵情聞訊。



小型磁控管濺射裝置

具備豐富機能、*適合各類基礎(chǔ)研究使用



SCOTT-C1

基板尺寸 數(shù)量

φ4英寸 φ100mm×t1mm1

有效成膜范圍

φ50mm

RF電源

Max300W40?300W可變)

成膜速度

SiO2成膜時、大于30nm/min

膜厚分布

SiO2成膜時、50mm+-10%以內(nèi)

真空室極限壓力

6.6X10-4

排氣時間

5分鐘內(nèi)從大氣壓抽至66X10-3Pa

基板加熱溫度

Max350℃(水冷)

基板電極間距離

60mm

外形尺寸

1120mm()×704mm()×1262mm(高)

裝置重量

500kg

消耗電量

1φ100V50/60Hz3.0kVA

消耗水量

8L/min(水溫:25C以下、水壓:200Kpa)

蝕刻分布

用酸化膜磈片時、70mm+-10%以內(nèi)

選購件

追加氣體導入、質(zhì)量流量控制器、基板加熱600C (水冷)DC電源



SCOTT-C3



基板尺寸 數(shù)量

φ2英寸 φ50.8mm×t1mm1

有效成膜范圍

φ25mm

RF電源

Max300W40?300W可變)

成膜速度

SiO2成膜時、大于30nm/min

膜厚分布

SiO2成膜時、25mm+-10%以內(nèi)

真空室極限壓力

6.6X10-4

排氣時間

5分鐘內(nèi)從大氣壓抽至66X10-3Pa

基板加熱溫度

Max350℃(基板水冷機構(gòu):)

基板動作

手動調(diào)節(jié) 3點指針旋轉(zhuǎn) (300度角)

基板電極間距離

50mm?90mm(可變:半固定)

外形尺寸

1100mm()×700mm()×1070mm(高)

裝置重量

400kg

消耗電量

1φ100V50/60Hz3.0kVA

消耗水量

2L/min(水溫:25C以下、水壓:200Kpa)

選購件

刻蝕機構(gòu) (洗凈)、追加氣體導入、質(zhì)量流量控制器、
基板加熱350C(水冷)600C無水冷、DC電源



SCOTT-C1




超小型離子濺射裝置



VPS-020

標準靶材

φ49Au1 (鍍膜用)
φ49 Al 1
1 (刻蝕用)

試料臺

φ70(高度調(diào)節(jié)范圍15mm20mm60mm)

真空槽

φ120(深度120mm)不銹鋼制

油旋片泵

G-20DA型(20L/min

高壓電源

1kV/0?20mA(帶電流計、內(nèi)置安全電路)

鍍膜方式

AC/DC

刻蝕方式

AC/DC

時間

0?15min、連續(xù)可變

氣體調(diào)節(jié)機構(gòu)

針閥

電源

100Vφ0.4kVA

重量

8.5kg

外形尺寸

160mm()×365mm(奧行)×317mm()

選購件

1.靶材 Pt-PdAg其它
2
.油霧過濾器(OMT-050A)
*
請根據(jù)用途挑選選購件



VPS-050

標準靶材

φ109Au1 (鍍膜用)
φ109 Al 1
1 (刻蝕用)

試料臺

φ100(高度調(diào)節(jié)范圍15mm20mm60mm)

真空槽

φ240(深度120mm)不銹鋼制

油旋片泵

G-100D型(100L/min) 選購件

高壓電源

1kV/0?20mA(帶電流計、內(nèi)置安全電路)

鍍膜方式

AC/DC

刻蝕方式

AC/DC

時間

0?15min、連續(xù)可變

氣體調(diào)節(jié)機構(gòu)

針閥

電源

100Vφ0.5kVA

重量

20kg

外形尺寸

282mm()×485mm(奧行)×440mm()

選購件

1.靶材 AU Pt-PdAg其它
2
.油霧過濾器(OMT-050A)
*
請根據(jù)用途挑選選購件




VPS-020



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