Agilent HS-16 擴散泵低成本的 HS 系列泵提供 2 英寸和 16 英寸至 35 英寸等多種尺寸，具有高速、低極限壓力、高抽氣量、前級耐壓高、低返油的特點。該 HS 系列擴散泵標準配置過熱保護開關和可選的速冷盤管。16 英寸至 35 英寸泵附帶油位觀察窗/注油和放油組件，并提供 ASA 或 ISO 法蘭。
特性：
1.五級分餾噴嘴可純化泵油
2.可提供 9600 瓦高通導型
3.前級耐壓高
4.過熱保護
5.泵油注排組件
6.液位觀察鏡可隨時快速指示泵油的狀況
7.在入口法蘭下方提供標準規口 (NW-25)
8.前級擋板防止泵油進入前級泵系統并造成流失
9.可選件 halo baffle 水冷帽可以在不增加高度的情況下減少返油
10.可選速冷盤管
性能指標：
技術指標：
| 抽氣速率，工作范圍 | 6000 L/s 空氣，7500 L/s 氦氣和氫氣 |
| 抽氣速率*，AVS 4.1(1963) | 10000 L/s 空氣 |
| 抽氣量 | 8,100 W – 9.5 T-l/s (12.7 mbar l/s) in operating range13.5 T-l/s (18.0 mbar-l/s) @ 0.01 Torr 9,600 W –12.0 T-l/s (16 mbar l/s) in operating range 11.5 T-l/s (15.3 mbar-l/s) @ 0.01 Torr |
| 工作范圍 | 9600 W 時，壓力為 2 x 10-3 至低于 5 x 10-8 Torr（1.3 x 10-3 至 6.5 x 10-8 mbar） |
| 前級耐壓 | 無負載 — 0.65 Torr (0.85 mbar)，滿載 — 0.55 Torr (0.72 mbar) |
| 泵功率 | 8100/9600 W |
| 推薦前級泵 | ≥ 80 cfm (136 m3/h) |
| 返油率**，標準冷卻帽 | 低于 1.5 x 10-3 mg/cm2/min |
| 預熱時間 | 30 分鐘 |
| 冷卻時間 | 48 分鐘（使用可選的速冷盤管只需 30 分鐘） |
| 注油量 | 3 夸脫 (2.8 L) |
| 電氣要求 | 3 相，50/60 Hz，240/415/480 VAC |
| 冷卻水要求 | 在 60-80 °F (15-26 °C) 時，抽速為 1.5 gpm (300 L/h) |
| 連接水冷 | 1/4 英寸 FPT 三通 |
| 推薦泵油 | DC-704（參閱產品目錄第 30 頁） |
* 對于抽氣速率測量的說明，請查看產品目錄第 36 頁。
**請參閱產品目錄第 34 頁關于測試方法的介紹
抽速曲線：
抽速/冷卻帽 抽速/Halo Baffle 通導
外形圖：
