Agilent HS-20 擴散泵低成本的 HS 系列泵提供 2 英寸和 16 英寸至 35 英寸等多種尺寸，具有高速、低極限壓力、高抽氣量、前級耐壓高、低返油的特點。該 HS 系列擴散泵標準配置過熱保護開關和可選的速冷盤管。16 英寸至 35 英寸泵附帶油位觀察窗/注油和放油組件，并提供 ASA 或 ISO 法蘭。
特性：
1.五級分餾噴嘴純化泵油并確保更好的極限真空。
2.前級耐壓高。
3.過熱保護。
4.液位觀察鏡可隨時快速指示泵油的狀況。
5.泵油注排組件
6.在入口法蘭下方提供標準規口 (NW-25)。
7.前級擋板防止泵油進入前級泵系統并造成流失。
8.可選 halo baffle 水冷帽可以在不增加高度的情況下減少回流。
性能指標：
技術指標：
| 抽氣速率，操作范圍 抽氣速率，AVS4.1 (1963) | 10000 L/s 空氣，12500 L/s 氦氣和 H2 17500 L/s 空氣 |
| 抽氣量 | 在工作范圍內為 12.5 T L/s (16.7 mbar L/s)，0.01 Torr 時為 18 T L/s (23 mbar L/s) |
| 操作范圍 | 1.3 x 10-3 至 5 x 10-8 torr（1.7 x 10-3 至 6.5 x 10-8 mbar） |
| 前級耐壓 | 無負載：0.65 torr (0.85 mbar) 滿載：0.55 torr (0.72 mbar) |
| 推薦前級泵 | ?100 cfm (170 m3/h) |
| 返油率，標準冷卻帽 | 低于 1.5 x 10-3 mg/cm2/min |
| 預熱時間 | 45 分鐘 |
| 冷卻時間 | 85 分鐘 |
| 注油量 | 5 夸脫 (4.7 L) |
| 電氣要求 | 3 相，50/60 Hz，240/415/480 VAC |
| 泵功率 | 12000 W |
| 冷卻水要求 | 在 60-62.22℃ (15-26℃) 時，抽速為 1.5 gpm (300 L/h) |
| 連接水冷 | 1/4 英寸 FPT 三通 |
| 推薦泵油 | DC-704 |
抽速曲線：
抽速/冷卻帽 抽速/Halo Baffle 通導
外形圖：
