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真空等離子清洗機

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  • 更新時間2021-10-21
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產品簡述:等離子清洗機的結構主要分為三個大的部分組成,分別是控制單元、真空腔體以及真空泵
真空等離子清洗機 產品詳情

產品簡述 :

等離子清洗機的結構主要分為三個大的部分組成,分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。

(A)控制單元 控制單元液晶觸摸屏控制方式。 而控制單元又分為兩個大的部分:

1)電源部分:主要電源頻率是13.56MHz、13.56MHz 是需要電源匹配器的

2)系統控制單元是液晶觸摸屏控制

(B)真空腔體 真空腔體材質:高強度鋁合金腔體

(C)真空泵

產品特點:

處理溫度低:

處理溫度可以低至50°C以下,低的處理溫度可以確保對樣品表面不造成熱影響。

處理全程無污染 等離子清洗機本身是很環保的設備,無產生任何污染,處理過程也無產生任何污染。

可以搭配原有生產流水線,實現全自動在線生產,節約人力成本。

處理效果穩定:

等離子清洗的處理效果非常均勻穩定,常規樣品處理后較長時間內保持效果良好。

可以處理各種形狀的樣品:

對于復雜形狀的樣品等離子清洗都能找到合適的解決方案。

真空等離子清洗更可實現對固體樣品內部位置進行清洗。

 

性能優勢 德國電路技術: 采用德國高壓激勵電源電路技術,產生高密度等離子體,確保出眾的清洗效果

全面安全防護: 溫度過高,過載,氣壓失常,短路斷路,誤操作,等全面的報警保護功能

級密封腔體: 級的高真空度密封腔體材質及制造工藝

靈活的氣體配方選擇: 可選擇兩路、三路、四路氣體配方方案,滿足不同工藝要求 

優質產品部件: 全部部件采用國內外優質部件,運行穩定壽命更長

低溫清洗: 滿足不同場合溫度要求,不對清洗產品造成溫度影響 

環保簡易: 極低的運行成本,操作簡單,過程無化學污染物排放,符合環保規范

 

等離子清洗的作用原理主要是:

(A)對材料表面的刻蝕作用--物理作用 等離子體中的大量離子、激發態分子、自由基等多種活性粒子,作用到固體樣品表面,不但清除了表面原有的污染物和雜質,而且會產生刻蝕作用,將樣品表面變粗糙,形成許多微細坑洼,增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

(B)激活鍵能,交聯作用 等離子體中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV,因此等離子體作用到固體表面后,可以將固體表面的原有的化學鍵產生斷裂,等離子體中的自由基不這些鍵 形成網狀的交聯結構,大大地激活了表面活性。

(C)形成新的官能團--化學作用 如果放電氣體中引入反應性氣體,那么在活化的材料表面會収生復雜的化學反應,引入新的官能團,如烴基、氨基、羧基等,這些官能團都是活性基團,能明顯提高材料表面活性。

參數指標

整機規格

約1150×1350×1850(長×寬×高)mm

整機重量

約400 Kg

鋁合金清洗腔體規格

780×400×475(長×寬×高)mm

鋁合金清洗腔體有效積

130L

輸入電源

380V(三相)/50 Hz

整機輸入功率(含真空泵)

2500 W

射頻輸出(連續可調)

0~600 W,配置真空電容自動匹配器,輸出方式是恒功率模式,電源本身輸出功率是實際功率

射頻頻率

13.56 MHz

清洗時間定時器范圍

0~99.99 min

真空泵

*,雙極旋片真空泵,抽速可達60m³/h

極限真空度

工作真空度≦30Pa

真空度測量及量程

1.0×105~1.0×10-1 Pa進口電子真空計

氣體流量計及量程

國內品牌,量程0-300SCCM

進氣閥

全自動電子擋板閥

玻璃觀察窗

觀察清洗艙內輝光狀態

常用工作氣體

氧氣氬氣氮氣或混合氣體可選

氣路

*的氣路分布結構,確保氣體分布均勻

PLC

德國西門子PLC,全自動程序控制

觸摸屏

威綸通觸摸屏,人性化界面,極易操作

全面安全防護

溫度安全防護功能,過載防護功能,短路斷路報警防護功能,各種 誤操作保護功能

電氣部件

全采用施耐德

氣壓調節部件

電極板

特殊處理的電極板結構,確保放電均勻,清洗效果

腔體:

級的高真空密封腔體

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