
清洗: 工藝部件的表面通過離子束的物理轟擊而被清洗,也可與特定氣體發生化學反應從而被清洗,清洗掉的工藝污染物轉化為氣相被排出。 如:去除有機污染物,去除納米級微粒,去除氧化層。
活化:工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后,會在表面形成氧原子團,這樣能使部件表面親水性和表面張力提高,能使涂料和粘接劑更好的附著于上,提高其的粘合力和附著力。 如:PDMS鍵合,粘接前的預處理,涂裝前的預處理,印刷前的預處理。
涂層:使工藝部件表面發生等離子聚合反應,前驅單體導入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面,隨即發生聚合反應,形成聚合物層。 如:疏水層,親水層,保護/阻隔層,干潤滑層,疏油層。
• 小批量生產
• 分析(REM,TEM)
• 醫療技術
• 滅菌
• 研究和開發部門
• 考古
• 紡織技術
• 塑料技術
主要技術參數 | 1. 手動控制 2. *根據工藝要求不同,可設定功率、壓強、氣體流量等參數 3. 雙路工作氣體,氣體流量通過針型閥流量控制 4. 反應艙為高硼硅玻璃,Φ 211 mm、長 300 mm,容積10.5L 5. 發生器頻率13.56MHz功率0~300W 6. 反射波自動調節,無須手工調節 7. 電極材質為鋁/不銹鋼 8. 運行模式為手動 9. 真空泵的排氣能力為8.0m3/Hour,國產飛越真空泵 10. *配有壓力傳感器,可根據工藝要求設定壓力值 11. 外尺寸:寬 425 mm、高 275 mm、深 450 mm 12. 電源電壓:單相AC230V 16A |