技術規格
| 型號 | EXT75DX | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 |
| 法蘭 | DN40NW, DN63ISO-K, DN63CF 或 DN100ISO-K | DN100 ISO-K 或DN100CF | DN100 ISO-K 或DN100CF | DN160 ISO-K 或DN160CF |
出口法蘭 | NW16 | NW25 | ||
抽速L/s | ||||
| 氮氣 | 75 | 240 | 300 | 400 |
| 氦氣 | 230 | 340 | 390 | |
氫氣 | 165 | 280 | 325 | |
壓縮比 | ||||
| 氮氣 | >1 × 1011 | |||
| 氦氣 | 1 x 106 | 3 x 105 | 1 x 106 | 1 x 108 |
| 氫氣 | 5 x 104 | 1 x 104 | 5 x 104 | 5 x 105 |
| 排氣/吹掃口 | 1/8”BSP | |||
| 臨界背壓D (mbar) | 9.5 | 10 | ||
持續進口流量(氮氣，sccm) | ||||
| 水冷(40°C環境溫度) | 45 | 95 | 105 | |
| 空冷(35°C環境溫度) | 30 | 115 | 90 | |
| 自然對流(環境溫度30°C) | 10 | 35 | 45 | |
連續背壓(mbar) | ||||
| 水冷(40°C環境溫度) | 6 | 6.8 | 7.5 | |
| 空冷(35°C環境溫度) | 4.8 | 7 | 7.5 | |
| 自然對流(環境溫度30°C) | 1 | 2.8 | 4 | |
| 建議支持泵 | E2M0.7/XXD1/RV5/nXDS6i | RV12/nXDS10i | ||
| 一般轉速(rpm) | 90000 | 60000 | ||
| 啟動時間至90%速度(秒) | 110 | 115 | 145 | 180 |
| 噪音dB(A) | ＜50 | ＜45 | ||
重量Kg | ||||
| ISO | 5.7 | 6.5 | ||
| CF | 8.8 | 8.5 | 9.5 | |
