技術規格
| 型號 | HT10 | HT16B | HT20B |
| 抽速L/s | 4650 | 11580 | 18000 |
ISO抽速L/s | |||
| 氮氣 | 3000 | 6500 | 8000 |
| 氦氣 | 4650 | 7200 | 16000 |
AVS 抽速L/s | |||
| 氮氣 | 3330 | 7220 | |
| 氦氣 | 5165 | 8000 | |
| 吞吐量(氮)mbar.L/s | 10 | 18 | 24 |
| 臨界背壓(DC704) mbar | 1.1 | 1.4 | 1.3 |
| 前級泵排量m3/h | 60 | 94 | 135 |
| 推薦前級泵 | GV80,E2M80 | GV80,GXS250,E2M175 | GXS250,E2M175 |
| 推薦油液 | DC704 | ||
| 充液量(干) mL | 1250 | 2400 | 3600 |
| 進口/支持連接 | ANSI10/ANSI12或 EO12 inch/ EO130 mm 或 ISO320/ISO63 | ANSI16/ANSI3 或 ISO500/ISO100 | ANSI20/ANSI4 或 ISO630/ISO160 |
| 冷卻水接頭 | 3/8英寸NPT內螺紋 | ||
| 加熱功率Kw | 5.1 | 9 | 12.6 |
| 預熱時間min | 30 | 60 | 60 |
| 冷卻水流量 L/h 25°C | 400 | 700 | 960 |
| 重量Kg | 80 | 185 | 275 |
